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SiCコーティングエピレシーバー
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VeTek Semiconductor は、中国における SiC コーティング エピ サセプタ製品の大手メーカー、イノベーター、リーダーです。長年にわたり、当社は、SiC コーティング エピ サセプター、SiC コーティング ウェーハ キャリア、SiC コーティング サセプター、SiC コーティング ALD サセプターなどのさまざまな SiC コーティング製品に注力してきました。VeTek Semiconductor は、半導体向けに高度な技術と製品ソリューションを提供することに尽力しています。業界。さらなるご相談を歓迎いたします。

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製品説明

Vetek Semiconductorは、中国のSiCコーティングエピサセプタの専門メーカーです。

VeTek Semiconductor の SiC コーティング エピ サセプタは、グラファイトと炭化ケイ素でできています。このSiCコーティング製品は輸入黒鉛を使用しており、より安定した性能と長寿命を有し、欧米のお客様から高い評価をいただいております。同時に、SiC コーティングエピサセプタの濃度は 5ppm 以下であり、均一性は非常に優れています。継続的な技術アップグレードの後、VeTek Semiconductor は新しいプロセスを使用して、SiC コーティングとグラファイト材料の熱膨張係数を適切に適合させています。

SiC コーティング エピ サセプタは、半導体装置の高温および腐食環境で特に使用されます。 SiC コーティング エピ サセプタは、AIXTRON などの装置、特に深紫外エピタキシー (DUV エピタキシー) プロセスで一般的に使用され、重要な役割を果たしています。

深紫外エピタキシー (DUV エピタキシー) プロセスでは、SiC コーティング エピ サセプターの優れた高温耐性と耐食性と組み合わせて、SiC コーティング エピ サセプターは通常、エピタキシー プロセス中のキャリアとして AIXTRON 装置の反応チャンバーの周囲に設置されます。機器を損傷または汚染する。

この SiC コーティング エピ サセプタは、深紫外エピタキシー用に設計されています。当社は炭化ケイ素コーティングを厳密に管理し、バッファ層技術を組み込んでグラファイトと炭化ケイ素コーティングの熱膨張係数の違いによって引き起こされる問題を軽減し、製品の寿命を延ばします。現在、当社の製品は数々の賞を受賞し、国内市場で最高の製品の一つとして認められています。

VeTek Semiconductor は、SiC コーティング製品の業界リーダーとして、製品のカスタマイズ サービスと満足のいく製品価格をサポートしており、さらなるご相談をお待ちしております。


CVD SIC フィルムの SEM データ:


VeTek Semiconductor SiC コーティング スカート製品ショップ:


半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要:


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