炭化タンタルコーティングとは何ですか?

炭化タンタル (TaC) セラミック材料は、融点が 3880 ℃ に達し、融点が高く、化学的安定性に優れた化合物です。高温環境下でも安定した性能を維持できます。さらに、高温耐性、耐化学腐食性、炭素材料との良好な化学的および機械的適合性も備えており、理想的なグラファイト基材保護コーティング材料となります。 

炭化タンタルコーティングは、過酷な使用環境において高温アンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属の影響からグラファイトコンポーネントを効果的に保護し、グラファイトコンポーネントの耐用年数を大幅に延長し、グラファイト中の不純物の移動を抑制して、グラファイトコンポーネントの品質を保証します。エピタキシャルそして結晶成長.

図 1. 炭化タンタルでコーティングされた一般的なコンポーネント

化学蒸着 (CVD) は、グラファイト表面に TaC コーティングを製造するための最も成熟した最適な方法です。

TaCl5 とプロピレンをそれぞれ炭素源とタンタル源として、アルゴンをキャリアガスとして使用し、高温で蒸発した TaCl5 蒸気が反応チャンバーに導入されます。目標の温度と圧力で、前駆体材料の蒸気がグラファイトの表面に吸着し、炭素源とタンタル源の分解と結合などの一連の複雑な化学反応や、炭素源の拡散と脱着などの一連の表面反応が起こります。前駆体の副産物。最後に、グラファイトの表面に緻密な保護層が形成され、極限の環境条件下でもグラファイトが安定して存在できないように保護され、グラファイト材料の応用シナリオが大幅に拡大されます。

図2。化学蒸着 (CVD) プロセス原理

ヴェテック・セミコンダクター主に炭化タンタル製品を提供します:TaC ガイド リング、TaC コーティングされた 3 ペタル リング、TaC コーティングるつぼ、TaC コーティング多孔質グラファイトは SiC 結晶成長プロセスで広く使用されています。TaC コーティングされた多孔質グラファイト、TaC コーティングされたガイド リング、TaC コーティングされたグラファイト ウェハー キャリア、 TaC コーティング サセプタ、遊星サセプタ、TaC コーティング サテライト サセプタ、およびこれらの炭化タンタル コーティング製品は広く使用されています。SiCエピタキシープロセスそしてSiC単結晶育成プロセス.

図3.獣医ek Semiconductor の最も人気のある炭化タンタル コーティング製品