VeTek Semiconductor の独自のカーバイド コーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシー プロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。
当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。 。
化合物半導体結晶
VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティング プロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクター コンポーネントの寿命が延長されます。
断熱材
るつぼ、シードホルダー、ディフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールド リング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハ キャリア、サテライト トレイ、シャワー ヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタ コンポーネント、MOCVD コンポーネント。
LED(発光ダイオード)ウエハキャリア
ALD(半導体)レシーバー
EPI受容体(SiCエピタキシープロセス)
SiC | TaC | |
主な特徴 | 超高純度、優れた耐プラズマ性 | 優れた高温安定性(高温プロセス適合性) |
純度 | >99.9999% | >99.9999% |
密度 (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
硬度(kg/mm2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
抵抗率 [Ωcm] | 0.1~15,000 | <1 |
熱伝導率(W/m-K) | 200-360 | 22 |
熱膨張係数(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
応用 | 半導体装置用セラミック治具(フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ) | SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品 |
VeTek Semiconductor は、中国の多孔質タンタルカーバイド製品の専門メーカーおよびリーダーです。多孔質タンタルカーバイドは通常、化学蒸着 (CVD) 法によって製造され、細孔のサイズと分布を正確に制御し、高温の極限環境専用の材料ツールです。さらなるご相談を歓迎いたします。
続きを読むお問い合わせを送信中国のプロのタンタルカーバイドコーティングサポート製品メーカーおよび工場として、VeTek Semiconductor タンタルカーバイドコーティングサポートは通常、半導体装置の構造コンポーネントまたはサポートコンポーネントの表面コーティング、特に半導体製造プロセスにおける主要な機器コンポーネントの表面保護に使用されます。 CVDとPVD。さらなるご相談を歓迎いたします。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor は、中国における超硬タンタル ガイド リング製品の専門メーカーおよびリーダーです。当社の炭化タンタル (TaC) ガイド リングは、炭化タンタル製の高性能リング部品であり、半導体処理装置、特に CVD、PVD、エッチング、拡散などの高温で腐食性の高い環境で一般的に使用されています。 VeTek Semiconductor は、半導体業界に高度な技術と製品ソリューションを提供することに尽力しており、さらなるお問い合わせをお待ちしております。
続きを読むお問い合わせを送信中国におけるTaCコーティング回転サセプター製品の専門メーカー、革新者、リーダーとして。 VeTek Semiconductor TaC コーティング回転サセプタは、通常、化学蒸着 (CVD) および分子線エピタキシー (MBE) 装置に取り付けられ、ウェーハを支持して回転させ、均一な材料堆積と効率的な反応を保証します。半導体プロセスの重要なコンポーネントです。さらなるご相談を歓迎いたします。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor は、中国における CVD TaC コーティングるつぼ製品の専門メーカーおよびリーダーです。 CVD TaC コーティングるつぼはタンタルカーボン (TaC) コーティングをベースとしています。タンタル炭素コーティングは、化学気相成長 (CVD) プロセスによってルツボの表面に均一に覆われ、耐熱性と耐食性を高めます。高温の極限環境で特に使用される材料ツールです。さらなるご相談を歓迎いたします。
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