炭化タンタルコーティングサポート

VeTek Semiconductorの主な機能炭化タンタル (TaC) コーティングサポートとは、耐熱性、耐摩耗性、耐食性炭化タンタルコーティングの層をコーティングすることで基板を保護し、プロセスの精度と信頼性を向上させ、コンポーネントの耐用年数を延ばします。半導体プロセス分野で使用される高性能コーティング製品です。

VeTek Semiconductor の炭化タンタル コーティング サポートのモース硬度はほぼ 9 ～ 10 で、ダイヤモンドに次いで 2 番目です。非常に強力な耐摩耗性があり、加工中の表面摩耗や衝撃に効果的に耐えることができるため、機器コンポーネントの耐用年数を効果的に延長できます。約 3880°C という高い融点と組み合わせることで、耐摩耗性と耐高温性を向上させるため、半導体装置の支持構造、熱処理装置、チャンバーまたはガスケットの表面コーティングなど、半導体装置の主要コンポーネントのコーティングによく使用されます。抵抗。

炭化タンタルの融点は約 3880°C と非常に高いため、以下のような半導体加工プロセスで使用されます。化学蒸着 (CVD)そして物理蒸着 (PVD), 強力な高温耐性と耐化学腐食性を備えた TaC コーティングは、装置コンポーネントを効果的に保護し、極端な環境でも基板の腐食や損傷を防止し、ウェーハ製造における高温環境を効果的に保護します。この特徴により、VeTek Semiconductor の炭化タンタル コーティング サポートがエッチングや腐食プロセスでよく使用されることがわかります。

炭化タンタルコーティングサポートには粒子汚染を軽減する機能もあります。通常、ウェーハの処理中に表面の磨耗により微粒子汚染が生じ、ウェーハの製品品質に影響を与えます。 TaC コーティングのモース硬度が 9 ～ 10 に近いという優れた製品特性により、この摩耗を効果的に低減し、粒子の発生を低減します。 TaC コーティングの優れた熱伝導率 (約 21 W/m・K) と組み合わせることで、高温条件下でも良好な熱伝導率を維持できるため、ウェーハ製造の歩留まりと一貫性が大幅に向上します。

VeTek Semiconductor の主な TaC コーティング製品には次のものがあります。TaCコーティングヒーター, CVD TaC コーティングるつぼ, TaCコーティング回転サセプタそしてTaC コーティング スペアパーツ、など、カスタマイズされた製品サービスをサポートします。 VeTek Semiconductor は、半導体業界に優れた製品と技術ソリューションを提供することに尽力しています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーになれることを心から願っています。

微細断面に炭化タンタル（TaC）コーティング:

CVD TaCコーティングの基本物性：