TaC コーティング スペアパーツ

ヴェテック・セミコンダクターTaCコーティングプレートで広く使用されている特殊な素材です。半導体製造工程。 TaC コーティング プレートは、高い硬度と耐摩耗性、高温耐性、耐食性、低い摩擦係数、優れた熱伝導性を兼ね備えており、半導体プロセスの多くのリンクにおいてかけがえのない役割を果たしています。

一般的に、次のアプリケーションは、TaCコート板半導体プロセスでは次のようなものがあります。

CVD/ALD成長基板: TaC コーティングされたプレートの高温耐性、化学的安定性、低摩擦係数により、CVD/ALD 成長基板として最適です。安定した成長環境を提供し、膜の均一性と密度を確保できます。

エッチングマスクプレート: TaC コーティングプレートは高い硬度と耐食性を備えているため、プラズマエッチングなどの高エネルギープロセスに耐え、エッチングマスクプレートとして下地膜を保護します。

CMP研磨パッド: TaC コーティングプレートの耐摩耗性と低い摩擦係数は、フィルム表面の粒子や欠陥を効果的に除去できる CMP 研磨パッドに最適な素材です。

高温炉管: TaC コーティング板の高温耐性と耐食性により、高温アニール、拡散などのプロセス用の高温炉の炉管として使用できます。

の商品特性と合わせて、TaCコーティングプレート、この製品が装置の性能向上、装置寿命の延長、生産効率の向上においてかけがえのない重要な役割を果たしていると判断します。 

の専門メーカーとしてGaN on SiC エピアクセプタ, 多孔質黒鉛そしてTaCコーティングプレート中国において、VeTek Semiconductor は常にカスタマイズされた製品サービスを提供することにこだわり、業界に最高の技術と製品ソリューションを提供することに尽力しています。引き続きのご相談を心よりお待ちしております。

CVD TAC コーティングの技術パラメータ：

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