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炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスク
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炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスク

VeTek Semiconductor は、中国のタンタルカーバイドコーティング遊星回転ディスクの大手メーカーおよびイノベーターです。当社は長年セラミックコーティングを専門としてきました。当社の製品は高純度で高温耐性があります。当社はお客様の長期パートナーになることを楽しみにしています。中国。

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製品説明



高品質の炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスクは、中国のメーカー VeTek Semiconductor によって提供されます。買う炭化タンタルコーティング高品質をそのまま低価格で実現した遊星回転ディスク。

炭化タンタルでコーティングされた遊星回転ディスクは、半導体製造の効率と品質の向上を目的として、AIXTRON G10 MOCVD システム用に設計されたアクセサリです。高品質の素材から作られ、精密に製造されたタンタルカーバイドコーティングされた遊星回転ディスクは、優れたパフォーマンスと信頼性を提供します。有機金属化学蒸着 (MOCVD) プロセス.

惑星円盤は、コーティングされたグラファイト基板を使用して構築されています。CVD TaC、優れた熱安定性、高純度、高温耐性を提供します。

Planetary Disk は、さまざまな半導体ウェーハ サイズに合わせてカスタマイズできるため、さまざまな生産要件に適しています。その堅牢な構造は、MOCVD システムの厳しい動作条件に耐えるように特別に設計されており、長期にわたるパフォーマンスを保証し、ウェーハ キャリアとサセプタに関連するダウンタイムとメンテナンス コストを最小限に抑えます。

惑星円盤では、AIXTRON G10 MOCVD システム半導体製造においてより高い効率と優れた結果を達成できます。その卓越した熱安定性、さまざまなウェーハサイズとの互換性、および信頼性の高いパフォーマンスにより、生産効率を最適化し、困難な MOCVD 環境で優れた成果を達成するための不可欠なツールとなっています。



炭化タンタルコーティング遊星回転ディスクの製品パラメータ:


TaCコーティングの物性
密度 14.3 (g/cm3)
比放射率 0.3
熱膨張係数 6.3*10-6/K
硬度(HK) 2000 香港
抵抗 1×10-5オーム*センチメートル
熱安定性 <2500℃
グラファイトのサイズ変化 -10~-20μm
コーティングの厚さ ≥20um typical value (35um±10um)


AlGaNバリア:Al組成均一性:


Al composition uniformity


VeTek 半導体製造工場:


Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk


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