中国 窒化ケイ素 メーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は窒化ケイ素の製造に重点を置いており、上級専門家と最高の技術人材で構成される研究開発チームを擁しています。窒化ケイ素セラミックスは、一般的なセラミックス材料の硬度、耐熱性、耐摩耗性、耐食性などの利点を有し、さらに、良好な耐熱衝撃性、耐高温クリープ性、良好な自己潤滑性、良好な化学的安定性などの利点を有し、広く使用されている。新エネルギー、化学産業、航空宇宙、半導体分野で使用されています。

VeTek Semiconductor の窒化ケイ素材料には、次のような顕著な利点があります。

1. 優れた化学的安定性

窒化ケイ素セラミックスは化学的安定性に優れ、さまざまな強酸、アルカリ、腐食性ガスに耐えます。半導体製造プロセスでは腐食性薬品を扱う必要が多いため、窒化ケイ素セラミックスは長期にわたって安定した性能を保証します。

2. 優れた機械的特性

窒化ケイ素セラミックは硬度が高く、圧縮強度と耐摩耗性に優れ、機械的応力や表面摩耗に耐えることができ、変形や破損が起こりにくいです。この機械的特性により、半導体装置の構造部品やプロセス部品の材料として非常に適しています。

3. 高温安定性

窒化ケイ素セラミックスは、高温環境でも安定性を維持でき、軟化または溶融しにくく、半導体製造プロセスにおける高温の処理や取り扱いに耐えることができます。これにより、グリッパーや反応チャンバーコンポーネントなどの高温プロセス装置の主要コンポーネントの製造に使用できるようになります。

4. 優れた絶縁性

絶縁特性は半導体デバイスの製造において重要です。窒化ケイ素セラミックは優れた絶縁特性を備えており、回路コンポーネントを電流漏れや電磁干渉から効果的に分離して保護することができ、デバイスの安定性と信頼性の向上に役立ちます。

5. 熱伝導率と熱伝導率

窒化ケイ素セラミックは熱伝導率が高く、デバイスによって生成された熱を効果的に伝導および放散することができ、動作プロセスにおけるデバイスの温度安定性の維持に役立ちます。これは、半導体デバイスの高性能動作にとって極めて重要です。

VeTek Semiconductor の窒化ケイ素材料の太陽光および半導体産業における用途には、主に次のようなものがあります。

1. 静電チャックおよびエッチングチャンバーコンポーネント

窒化ケイ素セラミックスは、優れた化学的安定性と高温耐性により、半導体製造における静電チャックやエッチングチャンバーの部品の材料としてよく使用されます。静電チャックはウェーハや基板を固定して安定させるために使用され、エッチング チャンバーのコンポーネントは腐食性ガスや高温環境に耐えるために使用されます。

2. ガス分配プレートと反射板

窒化ケイ素セラミックは、半導体装置の製造においてガス分配プレートや反射板にも使用されます。ガス分配プレートは反応性ガスまたは保護ガスを反応チャンバー内に均一に分配するために使用され、反射板は反応チャンバー内の光の分配と反射を最適化して反応効率と均一性を向上させるために使用されます。

3. ホルダーと熱部品

窒化ケイ素セラミックスは、半導体製造装置のホルダーや熱管理部品としてよく使用されます。これらの部品は、装置の安定した動作と装置の加工精度を確保するために、優れた機械的強度、耐摩耗性、熱伝導性を備えている必要があります。

4. 化学機械研磨 (CMP) パッド

窒化ケイ素セラミックは、化学機械研磨 (CMP) プロセスのパッド材料として広く使用されています。平坦度、耐摩耗性に優れ、研磨工程中に安定した支持力を発揮し、半導体ウェーハ表面の平坦度、精度を確保します。