中国 SiC単結晶成長プロセスのスペアパーツ メーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor の製品である SiC 単結晶成長プロセス用炭化タンタル (TaC) コーティング製品は、炭化ケイ素 (SiC) 結晶の成長界面に関連する課題、特に結晶のエッジで発生する包括的な欠陥に対処します。 TaCコーティングを施すことにより、結晶成長品質の向上と、高速かつ厚い成長を実現するために重要な結晶中心部の有効面積の増加を目指します。

TaC コーティングは、高品質の SiC 単結晶成長プロセスを成長させるための中核的な技術ソリューションです。当社は、化学気相成長法（CVD）によるTaCコーティング技術の開発に成功し、世界最高レベルに達しました。 TaC は、最大 3880°C の高い融点、優れた機械的強度、硬度、耐熱衝撃性などの優れた特性を備えています。また、高温やアンモニア、水素、シリコン含有蒸気などの物質にさらされた場合でも、優れた化学的不活性性と熱安定性を示します。

VeTek Semiconductor の炭化タンタル (TaC) コーティングは、SiC 単結晶成長プロセスにおけるエッジ関連の問題に対処するソリューションを提供し、成長プロセスの品質と効率を向上させます。当社は高度な TaC コーティング技術により、第 3 世代半導体産業の発展をサポートし、主要材料の輸入への依存を軽減することを目指しています。

PVT法SiC単結晶成長プロセスのスペアパーツ：

TaCコートるつぼ、TaCコートシードホルダー、TaCコートガイドリングはPVT法によるSiCおよびAlN単結晶炉の重要部品です。

主な機能:

-高温耐性

・純度が高く、SiC原料やSiC単結晶を汚染しません。

-Al蒸気およびN₂腐食に対する耐性

- 高い共晶温度 (AlN を使用) により、結晶準備サイクルが短縮されます。

-リサイクル可能(最大200時間)により、単結晶の製造の持続可能性と効率が向上します。

TaCコーティングの特徴

タックコーティングの代表的な物性

炭化タンタルコーティングされた分流リング TaCコーティングガイドリング TaCコーティングリング 炭化タンタルコーティングプレート TaCコーティングチャンク TaCコーティングチューブ