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中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場
VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。
当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハ キャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。
VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミック コーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。
当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。
私たちができるリアクター部品:
炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。
VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:
| CVD SiCコーティングの基本物性 | |
| 財産 | 代表値 |
| 結晶構造 | FCC β 相多結晶、主に (111) 配向 |
| 密度 | 3.21 g/cm3 |
| 硬度 | ビッカース硬度 2500（500g荷重） |
| 粒径 | 2～10μm |
| 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
| 昇華温度 | 2700℃ |
| 曲げ強度 | 415MPa RT 4点 |
| ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
| 熱伝導率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
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炭化ケイ素ウェーハチャック
中国の炭化ケイ素ウェーハ チャック製品の大手メーカーおよびサプライヤーとして、VeTek Semiconductor の炭化ケイ素ウェーハ チャックは、その優れた高温耐性、耐化学腐食性、および熱衝撃耐性により、エピタキシャル成長プロセスにおいてかけがえのない役割を果たしています。さらなるご相談を歓迎いたします。
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炭化ケイ素シャワーヘッド
VeTek Semiconductor は、中国における炭化ケイ素シャワーヘッド製品の大手メーカーおよびサプライヤーです。 SiC シャワーヘッドは、優れた高温耐性、化学的安定性、熱伝導率、良好なガス分散性能を備えており、均一なガス分散を実現し、膜品質を向上させることができます。したがって、通常は化学気相成長 (CVD) や物理気相成長 (PVD) プロセスなどの高温プロセスで使用されます。さらなるご相談を歓迎いたします。
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炭化ケイ素シールリング
中国の炭化ケイ素シールリングの専門メーカーおよび工場として、VeTek Semiconductor 炭化ケイ素シールリングは、その優れた耐熱性、耐食性、機械的強度、熱伝導性により、半導体処理装置で広く使用されています。これは、CVD、PVD、プラズマエッチングなどの高温および反応性ガスを伴うプロセスに特に適しており、半導体製造プロセスにおける重要な材料の選択です。さらにお問い合わせをお待ちしております。
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SiCコーティングウェーハホルダー
VeTek Semiconductor は、中国における SiC コーティングされたウェーハ ホルダー製品の専門メーカーおよびリーダーです。 SiCコーティングウェーハホルダーは、半導体プロセスにおけるエピタキシープロセス用のウェーハホルダーです。ウェーハを安定させ、エピタキシャル層の均一な成長を保証する、かけがえのないデバイスです。さらなるご相談を歓迎いたします。
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エピウェーハホルダー
VeTek Semiconductor は、中国のエピ ウェーハ ホルダーの専門メーカーおよび工場です。エピウェーハホルダーは、半導体プロセスにおけるエピタキシープロセス用のウェーハホルダーです。これはウェーハを安定させ、エピタキシャル層の均一な成長を保証するための重要なツールです。 MOCVDやLPCVDなどのエピタキシー装置に広く使用されています。エピタキシープロセスにおいて欠かせないデバイスです。さらなるご相談を歓迎いたします。
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Aixtron サテライトウェーハキャリア
中国の専門的な Aixtron サテライト ウェーハ キャリア製品メーカーおよびイノベーターである VeTek Semiconductor の Aixtron サテライト ウェーハ キャリアは、AIXTRON 装置で使用されるウェーハ キャリアであり、主に半導体処理の MOCVD プロセスで使用され、特に高温および高精度の処理に適しています。半導体加工プロセス。キャリアは、層堆積プロセスに不可欠な MOCVD エピタキシャル成長中に安定したウェーハ支持と均一な膜堆積を提供できます。さらなるご相談を歓迎いたします。
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中国の専門的な 炭化ケイ素コーティング メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の 炭化ケイ素コーティング を購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。
