中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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CVD SiCコーティングリング

CVD SiCコーティングリングはハーフムーンパーツの重要なパーツの一つです。他の部品とともにSiCエピタキシャル成長反応室を形成します。 VeTek Semiconductor は、CVD SiC コーティングリングの専門メーカーおよびサプライヤーです。お客様の設計要件に応じて、対応するCVD SiCコーティングリングを最も競争力のある価格で提供できます。 VeTek Semiconductor は、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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CVD SiC コーティングバレルサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における CVD SiC コーティングバレルサセプタの大手メーカーおよび革新者です。当社のCVD SiCコーティングバレルサセプタは、その優れた製品特性により、ウェハ上での半導体材料のエピタキシャル成長を促進する上で重要な役割を果たします。さらなるご相談を歓迎します。

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MOCVD SiCコーティングサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における MOCVD SiC コーティングサセプタの大手メーカーおよびサプライヤーであり、長年にわたり SiC コーティング製品の研究開発と生産に注力しています。当社の MOCVD SiC コーティングサセプタは、優れた高温耐性、良好な熱伝導率、低い熱膨張係数を備えており、シリコンまたは炭化ケイ素 (SiC) ウェーハの支持と加熱、および均一なガス蒸着において重要な役割を果たします。さらにご相談を歓迎します。

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SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

専門の半導体メーカーおよびサプライヤーとして、VeTek Semiconductor は、SiC エピタキシャル成長システムに必要なさまざまなグラファイトコンポーネントを提供できます。これらの SiC コーティングの半月型グラファイト部品は、エピタキシャルリアクターのガス入口セクション用に設計されており、半導体製造プロセスの最適化に重要な役割を果たします。 VeTek Semiconductor は常に、お客様に最高品質の製品を最も競争力のある価格で提供するよう努めています。 VeTek Semiconductor は、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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ホットゾーングラファイトヒーター

VeTek Semiconductor Hot Zone グラファイトヒーターは、高温炉の極限条件に対応し、化学蒸着 (CVD)、エピタキシャル成長、高温アニーリングなどの複雑なプロセスにおいて優れた性能と安定性を維持できるように設計されています。 VeTekSemi は、お客様に最高の費用対効果を保証するために、高品質のホットゾーングラファイトヒーターの製造と提供に常に重点を置いています。ぜひご連絡ください。

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VEECO MOCVD ヒーター

VeTek Semiconductor は、中国における VEECO MOCVD ヒーター製品の大手メーカーおよびサプライヤーです。 MOCVDヒーターは化学純度、熱安定性、耐食性に優れています。有機金属化学気相成長（MOCVD）プロセスには欠かせない製品です。さらにお問い合わせをお待ちしております。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングリング

CVD SiC コーティングバレルサセプタ

MOCVD SiCコーティングサセプタ

SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

ホットゾーングラファイトヒーター

VEECO MOCVD ヒーター

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