VEECO MOCVD ヒーター

VeTeksemi の VEECO MOCVD ヒーターは、不純物含有量が 5 ppm 以下に厳密に管理された高純度グラファイト材料で作られ、純度 99.99995% 以上の超高純度炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされています。化学蒸着 (CVD) プロセス。この材料の組み合わせにより、ヒーターに一連の重要な特性が与えられ、さまざまな環境での優れた性能が保証されます。有機金属化学気相成長法 (MOCVD)プロセス。

VEECO MOCVD ヒーターの優れた特徴の 1 つは、その並外れた化学純度です。高純度グラファイトコアは、高温プロセスにおける汚染物質の混入の可能性を大幅に低減し、超クリーンな成膜プロセスを保証します。のCVD SiCコーティングヒーターをさらに保護し、フィルムの品質を損なう可能性のある化学反応を防ぐ強力なバリアを形成します。この比類のない純度は、高性能で信頼性の高い半導体デバイスの製造に不可欠です。

同時に、ヒーターは非常に高い熱安定性と効率を示します。 SiC は融点が高く、熱伝導性に優れているため、ヒーターが熱を効果的に管理し、伝導することができます。これにより、基板全体の均一な加熱が保証され、均一な膜の堆積が達成され、温度勾配によって引き起こされる欠陥が減少します。このような熱効率は、精密製造において特に重要です。

VEECO MOCVD ヒーターは電気的性能にも優れています。高純度グラファイトコアは優れた導電性を備えているため、ヒーターは高い電気負荷要件に対応できます。この安定した電気的性能により、ヒーターは高負荷条件下でも正確な温度制御と堆積速度を維持できます。これは、一貫したプロセス条件を確保し、半導体製造効率を向上させるために重要です。

ヒーターの表面設計は、基板の放射率が高くなるように注意深く最適化されており、放射熱伝達の効率が大幅に向上します。均一に加熱できることは、一貫した膜堆積の厚さと特性を確保するための重要な要素です。高放射率の表面設計により、ヒーターの全体的な熱効率も向上し、エネルギー消費が削減され、運用コストが削減されます。

耐久性の点では、VeTeksemi の VEECO MOCVD ヒーターは優れた耐食性、耐酸化性、機械的強度を示します。 CVD SiC コーティングは、MOCVD プロセスで一般的な腐食性ガスや化学物質に対する強固なバリアを提供するため、装置の寿命が延び、メンテナンスの必要性や交換コストが削減されます。耐酸化性により、ヒーターは高温でも性能が低下することなく安定し、長期的な安定性が保証されます。

さらに、VeTeksemi の MOCVD ヒーターは機械的強度が高いため、熱サイクルや基板の取り扱い中に発生する物理的ストレスに耐えることができます。その堅牢性により、機械的故障のリスクが軽減され、過酷なプロセス条件下でも装置の信頼性の高い動作が保証されます。

VEECO MOCVD ヒーター製品の先進的なメーカーおよびサプライヤーとして、VeTeksemi は次のようなさまざまな高品質ヒーター製品も提供しています。TaCコーティングヒーター, 炭化ケイ素セラミックコーティンググラファイトヒーター, 炭化ケイ素セラミックコーティングヒーターVeTek Semiconductor は、半導体業界に高度でカスタマイズ可能なテクノロジーと製品ソリューションを提供することに尽力しています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを心から願っています。