炭化ケイ素セラミックコーティングヒーター

ヴェテック・セミコンダクター炭化ケイ素セラミックコーティングヒーターは、高温および過酷な環境向けに設計されたヒーターです。発熱体の表面にシリコンカーボンセラミックコーティング（SiC）をコーティングし、耐熱性、耐食性、熱伝導性に優れています。 

炭化ケイ素セラミックコーティングヒーター主に真空成膜（蒸着）装置に使用されます。一般的に使用される方法は PCD (プラズマ化学乾燥) と PVD ​​(物理蒸着) で、これらは半導体製造やその他の需要の高い産業用途で広く使用されています。

炭化ケイ素セラミックコーティングヒーターの高性能コーティング設計と相まって、it can provide an excellent heating solution for high-temperature processes.

優れた熱伝導性: SiC 材料は優れた熱伝導率を備えており、ヒーターが作業領域内で均一な熱分布を実現し、温度勾配を低減します。

均一な熱分布を実現: 炭化ケイ素セラミックコーティングヒーターは、SiC素材の高い熱伝導率を利用して、加熱領域全体に均一な温度分布を実現します。これは、急速熱処理（RTP）、拡散、酸化などのさまざまな高温プロセスにおいて半導体ウェーハの均一な熱処理を確実に行い、局所的な過熱や不均一な温度によって引き起こされる製品欠陥を回避するために重要です。

高温耐性: SiC コーティングにより、ヒーターは通常 1600°C までの非常に高い温度に耐えることができ、さまざまな高温処理プロセスに適しています。

耐熱性の向上: コーティングは超高温に耐えることができるため、長時間の高温操作が必要なプロセスで優れた性能を発揮します。たとえば、化学気相成長 (CVD) プロセスでは、炭化ケイ素セラミック コーティング ヒーターを使用すると、高温での機器の長期安定した動作を確保し、一貫した加熱性能を維持できるため、プロセスの再現性と信頼性が向上します。

耐薬品性：SiCコーティングは酸、アルカリ、腐食性ガスに対する耐性が非常に高く、複雑な化学雰囲気環境下でも長期間安定した状態を保つことができ、機器の寿命を延ばします。 

機器の寿命を延ばす：SiCコーティングは耐酸化性と耐食性に優れており、高温での化学的侵食と酸化に効果的に抵抗できます。これは、半導体製造プロセス、特に腐食性ガスや化学薬品を扱う環境では非常に重要です。コーティングの保護効果により、ヒーターの耐用年数が大幅に延長され、機器の交換頻度とメンテナンスコストが削減されます。

炭化ケイ素セラミックコーティングヒーターの基本物性:

ヴェテック・セミコンダクター 炭化ケイ素セラミック コーティング ヒーター ショップ:

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