Vetek Semiconductor のウェーハ チャックは、半導体製造において極めて重要な役割を果たし、高速で高品質な出力を可能にします。 Vetek Semiconductor は、社内製造、競争力のある価格設定、強力な研究開発サポートにより、精密部品の OEM/ODM サービスに優れています。お問い合わせをお待ちしております。
Vetek Semiconductor は専門メーカーとして、SiC コーティングされたウェーハ チャックを提供したいと考えています。
Vetek Semiconductor は、半導体デバイス用のあらゆるコンポーネントの開発と製造をカバーする ISO9001 認証を取得しています。これらのコンポーネントには、プロセス装置、蒸着装置、検査装置、半導体ウェーハチャック、流量計、チャンバー、プレート、ブロック、シャフト、ローラーなどの加圧硬化システムが含まれます。 5. Aixtron のパートナーとして、Veeco (世界トップ 10 Vetek Semiconductor は、世界最大の半導体市場である米国のトップ半導体装置メーカーに半導体精密部品を提供しています。
Vetek Semiconductor のウェーハ チャックは、半導体ウェーハ生産プロセス装置におけるウェーハ最終検査装置の段階的コンポーネントです。体系的な品質管理と検査システムにより、迅速かつ高品質で競争力のある生産を実現します。コストの最適化は、当社の生産インフラの戦略的統合と、材料、コンポーネント、モジュール、機器の国内外の専門メーカーとのパートナーシップを通じて実現されます。
Vetek Semiconductor の半導体ウェーハ チャックは、高精度の加工方法と設計技術を使用して、真空ウェーハ チャックの平坦度が 3 μm 以下であることを保証するウェーハ検出装置に使用されています。この細心の注意を払ったアプローチにより、ウェーハ検査における優れたパフォーマンスと精度が保証されます。
Vetek Semiconductor コアの利点:
1. 自社工場での製造
2. 正直な価格で直接生産/販売します。
3. 社内の研究開発センターは品質向上と開発サポートを提供し、部品のローカライゼーションのための企業および国家の研究支援プロジェクトに積極的に参加しています。
4.OEM/ODM
CVD SiCコーティングの基本物性 | |
財産 | 標準値 |
結晶構造 | FCC β 相多結晶、主に (111) 配向 |
密度 | 3.21 g/cm3 |
硬度 | ビッカース硬度 2500(500g荷重) |
粒径 | 2~10μm |
化学純度 | 99.99995% |
熱容量 | 640J・kg-1・K-1 |
昇華温度 | 2700℃ |
曲げ強度 | 415MPa RT 4点 |
ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
熱伝導率 | 300W・m-1・K-1 |
熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |