シリコン エピタキシー、EPI、エピタキシー、エピタキシャルとは、単結晶シリコン基板上に同じ結晶方向と異なる結晶厚さをもつ結晶層を成長させることを指します。半導体ディスクリート部品や集積回路の製造には、半導体中に含まれる不純物としてN型とP型が存在するため、エピタキシャル成長技術が必要となります。半導体デバイスは、異なる種類を組み合わせることで、さまざまな機能を発揮します。
シリコンエピタキシー成長法は気相エピタキシー、液相エピタキシー(LPE)、固相エピタキシーに分けられ、格子整合性を満たすために化学気相成長法が世界中で広く使用されています。
代表的なシリコンエピタキシャル装置はイタリアのLPE社に代表され、パンケーキエピタキシャル催眠装置、バレル型催眠装置、半導体催眠装置、ウエハキャリア等を有しています。樽型エピタキシャルハイペクター反応室の模式図は以下の通りです。 VeTek Semiconductor は、バレル形状のウェーハ エピタキシャル ハイプレクターを提供できます。 SiC コーティングされた HY ペレクターの品質は非常に成熟しています。 SGLと同等の品質。同時に、VeTek Semiconductor はシリコンエピタキシャル反応キャビティ石英ノズル、石英バッフル、ベルジャーおよびその他の完成品も提供できます。
Vetek Semiconductor の CVD SiC コーティング バッフルは、主に Si エピタキシーで使用されます。通常はシリコンエクステンションバレルと一緒に使用されます。 CVD SiC コーティング バッフルの独自の高温と安定性を組み合わせ、半導体製造における気流の均一な分布を大幅に改善します。私たちは、当社の製品が高度な技術と高品質の製品ソリューションを提供できると信じています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor は、LPE シリコン エピタキシャル反応チャンバー用のコンポーネント ソリューションの包括的なセットを提供し、長寿命、安定した品質、エピタキシャル層の歩留まり向上を実現します。 SiCコーティングバレルサセプタなどの当社製品は、お客様から位置のフィードバックをいただきました。 Siエピ、SiCエピ、MOCVD、UV-LEDエピタキシーなどの技術サポートも行っております。価格情報についてはお気軽にお問い合わせください。
続きを読むお問い合わせを送信炭化ケイ素および炭化タンタルコーティングの国内トップメーカーとして、VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされたエピサセプターの精密機械加工と均一なコーティングを提供し、コーティングと製品の純度を 5ppm 以下に効果的に制御することができます。製品寿命はSGLと同等です。お問い合わせお待ちしております。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor は、中国の大手 LPE Si エピ サセプタ セット メーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティングおよび TaC コーティングに特化してきました。当社は、LPE PE2061S 4 インチ ウェーハ用に特別に設計された LPE Si エピ サセプタ セットを提供しています。グラファイト材料とSiCコーティングのマッチング度が良く、均一性が優れ、寿命が長いため、LPE(液相エピタキシー)プロセス中のエピタキシャル層成長の歩留まりが向上します。ぜひ当社の工場を訪問してください。中国。
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