EPI受信者

VeTek Semiconductor の EPI サセプタは、要求の厳しいエピタキシャル装置用途向けに設計されています。高純度の炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイト構造は、優れた耐熱性、一貫したエピタキシャル層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および長期にわたる耐薬品性を備えています。ご協力をお待ちしております。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、中国の EPI 受信機、ALD 遊星受信機、および TaC コーティングされたグラファイト受信機のプロフェッショナルリーダーメーカーです。そして当社の EPI サセプターは、エピタキシャル成長半導体の製造工程で。その主な機能は、高品質のエピタキシャル層がウェーハ表面に均一に成長できるようにウェーハを支持して加熱することです。

VeTek Semiconductors の EPI サセプタは通常、高純度グラファイトで作られ、炭化ケイ素 (SiC) の層でコーティングされています。この設計には次のような重要な利点があります:

●高温安定性: EPI サセプタは高温環境でも安定した状態を維持できるため、エピタキシャル層の均一な成長が保証されます。

●耐食性: SiC コーティングは耐食性に優れており、化学ガスの侵食に耐えることができ、トレイの耐用年数を延ばします。

●熱伝導率: SiC 材料の高い熱伝導率により、加熱中のウェーハの温度分布が均一になり、エピタキシャル層の品質が向上します。

●熱膨張係数のマッチング：SiCの熱膨張係数はグラファイトの熱膨張係数と類似しているため、熱膨張と収縮によるコーティングの剥離の問題を回避できます。