LPE PE2061S 用 SiC コーティングサポート

VeTek Semiconductor は、中国の LPE PE2061S 用 SiC コーティングサポートの大手メーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティング材料に特化してきました。当社は、LPE シリコンエピタキシーリアクター用に特別に設計された LPE PE2061S 用の SiC コーティングサポートを提供しています。この LPE PE2061S 用の SiC コーティングされたサポートは、バレルサセプターの底部です。摂氏 1600 度の高温に耐えることができ、グラファイトスペアパーツの製品寿命を延ばします。お問い合わせを歓迎します。

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製品説明

LPE PE2061S 用の高品質 SiC コーティングサポートは、中国のメーカー VeTek Semiconductor によって提供されています。高品質で低価格の LPE PE2061S 用 SiC コーティングサポートを直接購入してください。

シリコンエピタキシー装置の LPE PE2061S 用 VeTeK セミコンダクター SiC コーティングサポートは、エピタキシャル成長プロセス中にエピタキシャルウェーハ (または基板) を支持および保持するためにバレル型サセプターと組み合わせて使用されます。

ボトムプレートは主にバレルエピタキシャル炉で使用され、バレルエピタキシャル炉はフラットエピタキシャルサセプタよりも反応室が大きく、生産効率が高くなります。

サポートは丸い穴のデザインで、主に反応器内の排気口に使用されます。

VeTeK Semiconductor SiC コーティングされた LPE 用サポート PE2061S は、液相エピタキシー (LPE) リアクターシステム用であり、高純度、均一なコーティング、高温安定性、耐食性、高硬度、優れた熱伝導率、低い熱膨張係数、および化学的不活性性を備えています。。

CVD SiC コーティングの基本物性:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	標準値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg-1・K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1