LPE SI EPI 受容体セット

VeTek Semiconductor は、中国の大手 LPE Si エピサセプタセットメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティングおよび TaC コーティングに特化してきました。当社は、LPE PE2061S 4 インチウェーハ用に特別に設計された LPE Si エピサセプタセットを提供しています。グラファイト材料とSiCコーティングのマッチング度が良く、均一性が優れ、寿命が長いため、LPE（液相エピタキシー）プロセス中のエピタキシャル層成長の歩留まりが向上します。ぜひ当社の工場を訪問してください。中国。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、中国の LPE Si EPI サセプタセットの専門メーカーおよびサプライヤーです。

良質と競争力のある価格で、私たちの工場を訪問し、私たちとの長期的な協力を確立することを歓迎します。

VeTeK Semiconductor LPE Si エピサセプタセットは、高純度等方性グラファイトの表面に炭化ケイ素の微細層を塗布することにより作成された高性能製品です。これは、VeTeK Semiconductor 独自の化学蒸着 (CVD) プロセスによって実現されます。

VeTek Semiconductor の LPE Si エピサセプタセットは、厳しい条件下でも確実に動作するように設計された CVD エピタキシャル蒸着バレルリアクタです。優れたコーティング密着性、耐高温酸化性、耐腐食性により、過酷な環境に最適です。さらに、その均一な熱プロファイルと層流ガス流パターンにより汚染が防止され、高品質のエピタキシャル層の成長が保証されます。

当社の半導体エピタキシャルリアクターの樽型設計はガスの流れを最適化し、熱が均一に分散されるようにします。この機能により、汚染や不純物の拡散が効果的に防止され、ウェーハ基板上に高品質のエピタキシャル層が生成されることが保証されます。

VeTek Semiconductor では、お客様に高品質でコスト効率の高い製品を提供することに尽力しています。当社の LPE Si エピサセプタセットは、グラファイト基板と炭化ケイ素コーティングの両方で優れた密度を維持しながら、競争力のある価格を提供します。この組み合わせにより、高温および腐食性の作業環境において信頼性の高い保護が保証されます。

CVD SiC コーティングの基本物性:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	標準値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg-1・K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1