半導体サセプタブロック SiC コーティング

VeTek Semiconductor の SiC コーティングされた半導体サセプタブロックは、信頼性と耐久性に優れたデバイスです。安定した性能と長寿命を維持しながら、高温や過酷な化学環境に耐えるように設計されています。優れたプロセス能力により、半導体サセプタブロック SiC コーティングは交換やメンテナンスの頻度を減らし、生産効率を向上させます。皆様と協力できる機会を楽しみにしています。

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製品説明

SiC コーティングされた高品質の半導体サセプターブロックは、中国のメーカー VeTek Semiconductor によって提供されます。高品質のSiCコーティングされた半導体サセプタブロックを工場から直接購入します。

VeTek Semiconductor の SiC コーティングされた半導体サセプタブロックは、VEECO GaN システムで使用するために特別に設計されており、MOCVD (有機金属化学気相成長) 技術を利用しています。このサセプタブロックは、高純度、高密度、高強度の黒鉛材料で作られた重要なコンポーネントです。当社独自の CVD SiC コーティングでコーティングされており、優れた密着性を確保し、製品寿命を延ばし、製造プロセス中の均一な加熱を保証します。

SiC コーティングされた半導体サセプターブロックの緻密なコーティングにより、耐久性と信頼性が向上すると同時に、一貫した均一な熱分布が保証されます。これは、加工中の高い製品歩留まりに直接貢献します。高品質のグラファイト材料と当社の先進的な CVD SiC コーティングを組み合わせることで、優れた性能と長寿命を備えた製品を実現しました。

SiC コーティングされた半導体サセプターブロックは、最適な温度均一性を維持し、製造プロセスの全体的な効率を向上させる上で重要な役割を果たします。その優れたコーティング特性と堅牢な構造により、信頼性の高いパフォーマンスと寿命が保証されます。この製品を使用すると、高い加工歩留まりと優れた製品品質を実現できます。

当社は、VEECO GaN システムにおけるお客様特有のニーズを満たす高性能ソリューションを提供することに尽力しています。当社の半導体サセプタは、耐久性、均一性、信頼性の業界標準を確立し、製造プロセスの効率性と生産性を確保します。

SiCコーティングされた半導体サセプタブロックの製品パラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	標準値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg-1・K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1