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中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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CVD SiCコーティング発熱体

CVD SiC コーティング発熱体は、PVD 炉 (蒸着) で材料を加熱する際の中核的な役割を果たします。 VeTek Semiconductor は、中国の大手 CVD SiC コーティング発熱体メーカーです。当社は高度な CVD コーティング能力を備えており、カスタマイズされた CVD SiC コーティング製品を提供できます。 VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされた発熱体のパートナーになることを楽しみにしています。

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グラファイト回転レシーバー

高純度グラファイトの回転サセプタは、窒化ガリウムのエピタキシャル成長 (MOCVD プロセス) において重要な役割を果たします。 VeTek Semiconductor は、中国を代表するグラファイト回転サセプタのメーカーおよびサプライヤーです。当社は、高純度黒鉛材料をベースに、半導体産業の要求に応える高純度黒鉛製品を数多く開発してきました。 VeTek Semiconductor は、回転グラファイトサセプタのパートナーとなることを楽しみにしています。

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高純度グラファイトリング

高純度グラファイトリングはGaNエピタキシャル成長プロセスに適しています。優れた安定性と優れた性能により、広く使用されています。 VeTek Semiconductor は、GaN エピタキシー業界の継続的な進歩を支援するために、世界をリードする高純度グラファイトリングを生産および製造しています。 VeTekSemi は中国における貴社のパートナーとなることを楽しみにしています。

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CVD SiCパンケーキサセプタ

中国におけるCVD SiCパンケーキサセプタ製品の大手メーカーおよび革新者として。 VeTek Semiconductor CVD SiC パンケーキサセプタは、半導体装置用に設計されたディスク型コンポーネントであり、高温エピタキシャル堆積中に薄い半導体ウェーハをサポートするための重要な要素です。 VeTek Semiconductor は、高品質の SiC パンケーキサセプタ製品を競争力のある価格で提供し、中国における長期的なパートナーとなることに尽力しています。

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MOCVD用SiCコーティンググラファイトサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における MOCVD 用の SiC コーティングされたグラファイトサセプターの大手メーカーおよびサプライヤーであり、半導体業界向けの SiC コーティングアプリケーションおよびエピタキシャル半導体製品を専門としています。当社の MOCVD SiC コーティングされたグラファイトサセプタは、競争力のある品質と価格を提供し、ヨーロッパとアメリカの市場にサービスを提供しています。当社は、半導体製造の進歩において、お客様の長期にわたる信頼できるパートナーとなることに全力で取り組んでいます。

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CVD SiCコーティングエピタキササセプタ

VeTek Semiconductor の CVD SiC コーティングエピタキシーサセプタは、半導体ウェーハの取り扱いと処理用に設計された精密設計ツールです。この SiC コーティングエピタキシーサセプタは、薄膜、エピ層、その他のコーティングの成長を促進する上で重要な役割を果たし、温度と材料特性を正確に制御できます。さらにお問い合わせをお待ちしております。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティング発熱体

グラファイト回転レシーバー

高純度グラファイトリング

CVD SiCパンケーキサセプタ

MOCVD用SiCコーティンググラファイトサセプタ

CVD SiCコーティング エピタキササセプタ

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