グラファイト回転レシーバー

高純度グラファイト回転サセプタは、高温および高真空環境下での材料処理装置で使用されます。窒化ガリウムのエピタキシャル成長（MOCVD プロセス）では、基板の回転を補助する役割を果たします。 VeTekSemi の回転グラファイト サセプタには次の利点があります。

● 高純度: 高純度グラファイト回転サセプターの不純物含有量は 5 ppm 未満です。このレベルの純度のグラファイトは、高温での不純物の放出を回避し、堆積プロセスの清浄度を確保できます。したがって、作業要件を満たすためにコーティングは必要ありません。

高純度グラファイト

● 優れた熱特性：高純度グラファイトは熱伝導性に優れており、他の素材に比べて熱伝導率が非常に高くなります。熱膨張係数が小さく、温度変化に対しても安定した性能を維持します。

● 優れた機械的特性：高純度グラファイトは優れた耐摩耗性と靭性を備えており、CVDプロセスの複雑な要件を満たすことができます。

● 優れた導電性：導電率は一般的な非金属鉱物の100倍以上です。

● 化学的安定性: 酸、アルカリ、有機溶剤などの腐食に強いです。

さらに、VeTek Semiconductor は、中国の高純度グラファイト回転サセプターの大手メーカーおよびサプライヤーとして、高品質のサセプターも供給しています。MOCVD用SiCコーティンググラファイトサセプタ, SiC コーティングされたバレル サセプタ, TaC コーティングされたグラファイトレシーバーそしてMOCVD SiCコーティングサセプタ.ヴェテック・セミコンダクターは、半導体業界に高度な技術と製品ソリューションを提供することに尽力しており、カスタマイズされたサービスもサポートしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを心から楽しみにしています。

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