中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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LPE PE2061S 用 SiC コーティングトッププレート

VeTek Semiconductor は、中国の LPE PE2061S 用 SiC コーティングトッププレートの大手メーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティング材料に特化してきました。当社は、LPE シリコンエピタキシーリアクター用に特別に設計された LPE PE2061S 用の SiC コーティングトッププレートを提供しています。この LPE PE2061S 用 SiC コーティングトッププレートは、バレルサセプタと合わせてトップです。この CVD SiC コーティングプレートは、高純度、優れた熱安定性、均一性を誇り、高品質のエピタキシャル層の成長に適しています。当社の工場を訪問することを歓迎します。中国で。

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LPE PE2061S 用 SiC コーティングバレルサセプター

VeTek Semiconductor は、中国の LPE PE2061S 用 SiC コーティングバレルサセプタの大手メーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティング材料に特化してきました。LPE PE2061S 4 インチウェーハ用に特別に設計された SiC コーティングバレルサセプタを提供しています。このサセプタは、LPE (液相エピタキシー) プロセス中の性能と耐久性を向上させる耐久性のある炭化ケイ素コーティングを備えています。中国の当社工場を訪問することを歓迎します。

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ソリッドSiCガスシャワーヘッド

VeTek Semiconductor は、中国を代表する固体 SiC ガスシャワーヘッドメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり半導体材料に特化してきました。VeTek Semiconductor 固体 SiC ガスシャワーヘッドの多孔性設計により、CVD プロセスで生成された熱が確実に分散されます。、基板が均一に加熱されることを保証します。中国での長期的なお付き合いを楽しみにしています。

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化学蒸着プロセスソリッドSiCエッジリング

VeTek Semiconductor は、中国の大手化学気相成長プロセスソリッド SiC エッジリングメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり半導体材料に特化してきました。VeTek Semiconductor ソリッド SiC エッジリングは、静電チャックと併用すると、エッチングの均一性が向上し、ウェーハの正確な位置決めが可能になります。一貫した信頼性の高いエッチング結果を保証します。当社は、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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ソリッドSiCエッチングフォーカスリング

VeTek Semiconductor は、中国を代表するソリッド SiC エッチング集束リングのメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC 材料に特化してきました。固体 SiC は、その優れた熱化学的安定性、高い機械的強度、およびプラズマ耐性により、集束リングの材料として選ばれています。私たちは、中国におけるあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

LPE PE2061S 用 SiC コーティングトッププレート

LPE PE2061S 用 SiC コーティングバレルサセプター

ソリッドSiCガスシャワーヘッド

化学蒸着プロセスソリッドSiCエッジリング

ソリッドSiCエッチングフォーカスリング

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