中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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LPE SI EPI 受容体セット

VeTek Semiconductor は、中国の大手 LPE Si エピサセプタセットメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティングおよび TaC コーティングに特化してきました。当社は、LPE PE2061S 4 インチウェーハ用に特別に設計された LPE Si エピサセプタセットを提供しています。グラファイト材料とSiCコーティングのマッチング度が良く、均一性が優れ、寿命が長いため、LPE（液相エピタキシー）プロセス中のエピタキシャル層成長の歩留まりが向上します。ぜひ当社の工場を訪問してください。中国。

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Aixtron G5 MOCVD サセプター

VeTek Semiconductor は、中国の大手 Aixtron G5 MOCVD サセプタメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたりSiCコーティング材料に特化してきました。このAixtron G5 MOCVDサセプターキットは、最適なサイズ、互換性、高い生産性を備えた、半導体製造のための多用途かつ効率的なソリューションです。お問い合わせを歓迎します。

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EPI用SiCコーティンググラファイトバレルサセプタ

VeTek Semiconductor は、EPI 用の SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプタの専門メーカー、サプライヤー、輸出業者です。 VeTek Semiconductor は、専門チームと最先端のテクノロジーによってサポートされており、手頃な価格で高品質を提供できます。さらに詳しい議論のために当社の工場を訪問することを歓迎します。

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SiC コーティングされたグラファイトるつぼディフレクター

VeTek Semiconductor は、高品質の SiC コーティングされたグラファイトるつぼデフレクターの製造において長年の経験を持っています。当社は独自の材料研究開発ラボを有しており、お客様のカスタム設計を高品質でサポートします。さらに詳しい議論のために当社の工場を訪問することを歓迎します。

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