中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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上半月部SiCコート

VeTek Semiconductor は、中国でカスタマイズされたアッパーハーフムーン部品の SiC コーティングの大手サプライヤーであり、20 年以上にわたり先端材料を専門としています。 VeTek Semiconductor 上部ハーフムーン部品 SiC コーティングは、SiC エピタキシャル装置用に特別に設計されており、反応チャンバーの重要なコンポーネントとして機能します。超高純度の半導体グレードのグラファイトで作られており、優れたパフォーマンスを保証します。ぜひ中国の工場を訪問してください。

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炭化ケイ素エピタキシーウェーハキャリア

VeTek Semiconductor は、中国のカスタマイズされた炭化ケイ素エピタキシーウェーハキャリアの大手サプライヤーです。当社は 20 年以上、先端材料に特化してきました。当社は、SiC 基板を搬送し、SiC エピタキシャルリアクターで SiC エピタキシー層を成長させるための炭化ケイ素エピタキシーウェーハキャリアを提供しています。この炭化ケイ素エピタキシーウェーハキャリアは、半月部分の耐高温性、耐酸化性、耐摩耗性の重要なSiCコーティング部分です。中国の工場を訪問することを歓迎します。

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SiC コーティング MOCVD サセプタ

VeTek Semiconductor の SiC コーティング MOCVD サセプタは、優れたプロセス、耐久性、信頼性を備えたデバイスです。高温や化学的環境にも耐え、安定した性能と長寿命を維持することで、交換やメンテナンスの頻度を減らし、生産効率を向上させます。当社の MOCVD エピタキシャルサセプタは、高密度、優れた平坦性、優れた熱制御で知られており、過酷な製造環境で推奨される装置となっています。ご協力をお待ちしております。

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SiCコーティングされたICPエッチングキャリア

VeTek Semiconductor の SiC コーティング ICP エッチングキャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに設計されています。高品質の超高純度グラファイト材料で作られた当社の SiC コーティング ICP エッチングキャリアは、非常に平坦な表面と優れた耐食性を備えており、取り扱い時の過酷な条件に耐えます。 SiC コーティングされたキャリアの高い熱伝導率により、均一な熱分布が保証され、優れたエッチング結果が得られます。 VeTek Semiconductor は、お客様と長期的なパートナーシップを構築できることを楽しみにしています。

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PSS半導体用エッチングキャリアプレート

VeTek Semiconductor の半導体用 PSS エッチングキャリアプレートは、ウェーハハンドリングプロセス用に設計された高品質の超高純度グラファイトキャリアです。当社のキャリアは優れた性能を備えており、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄条件でも良好に機能します。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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急速熱処理用サセプタ

VeTek Semiconductor は、中国の大手急速熱アニーリングサセプタメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC コーティング材料に特化してきました。当社は、高品質、高温耐性、超薄型の急速熱アニーリングサセプタを提供しています。当社への訪問を歓迎します。中国の工場。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

上半月部SiCコート

炭化ケイ素エピタキシーウェーハキャリア

SiC コーティング MOCVD サセプタ

SiCコーティングされたICPエッチングキャリア

PSS半導体用エッチングキャリアプレート

急速熱処理用サセプタ

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