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SiCコーティングセットディスク
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SiCコーティングセットディスク

CVD SiC コーティングの大手メーカーである VeTek Semiconductor は、Aixtron MOCVD リアクターに SiC コーティング セット ディスクを提供しています。これらの SiC コーティング セット ディスクは、高純度グラファイトを使用して作られており、不純物が 5ppm 未満の CVD SiC コーティングが特徴です。この商品に関するお問い合わせをお待ちしております。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、長年の経験を持つ SiC コーティング セット ディスク、コレクター、サセプターを主に生産する中国の SiC コーティング メーカーおよびサプライヤーです。あなたとのビジネス関係を構築したいと考えています。

Aixtron SiC コーティング セット ディスクは、幅広い用途向けに設計された高性能製品です。このキットは、炭化ケイ素 (SiC) 保護コーティングが施された高品質のグラファイト素材で作られています。

ディスク表面の炭化ケイ素 (SiC) コーティングには、いくつかの重要な利点があります。まず、グラファイト素材の熱伝導率を大幅に向上させ、効率的な熱伝導と正確な温度制御を実現します。これにより、使用中にディスクセット全体が均一に加熱または冷却され、一貫したパフォーマンスが得られます。

第二に、炭化ケイ素 (SiC) コーティングは化学的不活性性に優れており、ディスク セットの耐腐食性が高くなります。この耐食性により、過酷で腐食性の環境下でもディスクの寿命と信頼性が保証され、さまざまなアプリケーションシナリオに適しています。

さらに、炭化ケイ素 (SiC) コーティングにより、ディスクセットの全体的な耐久性と耐摩耗性が向上します。この保護層は、ディスクが繰り返しの使用に耐えられるようにし、時間の経過とともに発生する可能性のある損傷や劣化のリスクを軽減します。強化された耐久性により、ディスク セットの長期的なパフォーマンスと信頼性が保証されます。

Aixtron SiC コーティング セット ディスクは、半導体製造、化学処理、研究室で広く使用されています。優れた熱伝導性、耐薬品性、耐久性により、正確な温度制御と耐腐食性環境を必要とする重要な用途に最適です。


CVD SiC コーティングの基本物性:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産 標準値
結晶構造 FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度 3.21 g/cm3
硬度 ビッカース硬度2500(500g荷重)
粒径 2~10μm
化学純度 99.99995%
熱容量 640J・kg-1・K-1
昇華温度 2700℃
曲げ強度 415MPa RT 4点
ヤング率 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率 300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE) 4.5×10-6K-1


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