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中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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CVD SiCコーティングスカート

VeTek Semiconductor は、中国における CVD SiC コーティングおよび TAC コーティングの大手メーカー、イノベーター、リーダーです。長年にわたり、当社はCVD SiCコーティングスカート、CVD SiCコーティングリング、CVD SiCコーティングキャリアなどのさまざまなCVD SiCコーティング製品に注力してきました。VeTek Semiconductorはカスタマイズされた製品サービスと満足のいく製品価格をサポートしており、お客様のさらなるご期待をお待ちしております。相談。

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UV LEDエピサセプタ

中国の大手半導体製品メーカーおよびリーダーとして、VeTek Semiconductor は長年にわたり、UV LED エピサセプタ、深紫外 LED エピタキシャルサセプタ、SiC コーティングサセプタ、MOCVD サセプタなどのさまざまなタイプのサセプタ製品に注力してきました。 VeTek Semiconductor は、半導体業界に高度な技術と製品ソリューションを提供することに尽力しており、中国でのパートナーになれることを心から楽しみにしています。

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CVD SiC コーティングバッフル

Vetek Semiconductor の CVD SiC コーティングバッフルは、主に Si エピタキシーで使用されます。通常はシリコンエクステンションバレルと一緒に使用されます。 CVD SiC コーティングバッフルの独自の高温と安定性を組み合わせ、半導体製造における気流の均一な分布を大幅に改善します。私たちは、当社の製品が高度な技術と高品質の製品ソリューションを提供できると信じています。

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CVD SiCグラファイトシリンダー

Vetek Semiconductor の CVD SiC グラファイトシリンダーは、半導体装置において極めて重要であり、高温高圧設定で内部コンポーネントを保護するリアクター内の保護シールドとして機能します。化学薬品や極度の熱から効果的に保護し、機器の完全性を維持します。優れた耐摩耗性と耐腐食性により、厳しい環境でも長寿命と安定性を保証します。これらのカバーを使用することで、半導体デバイスの性能が向上し、寿命が延長され、メンテナンスの必要性や損傷のリスクが軽減されます。お気軽にお問い合わせください。

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CVD SiC コーティングノズル

Vetek Semiconductor の CVD SiC コーティングノズルは、半導体製造中に炭化ケイ素材料を堆積するための LPE SiC エピタキシープロセスで使用される重要なコンポーネントです。これらのノズルは通常、過酷な処理環境での安定性を確保するために、高温で化学的に安定した炭化ケイ素素材で作られています。均一な堆積を実現するように設計されており、半導体アプリケーションで成長するエピタキシャル層の品質と均一性を制御する上で重要な役割を果たします。お客様との長期的な協力関係を構築できることを楽しみにしています。

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CVD SiC コーティングプロテクター

Vetek Semiconductor が提供する CVD SiC コーティングプロテクターは、LPE SiC エピタキシーを使用します。「LPE」という用語は、通常、減圧化学蒸着 (LPCVD) における低圧エピタキシー (LPE) を指します。半導体製造において、LPE は単結晶薄膜を成長させるための重要なプロセス技術であり、シリコンエピタキシャル層やその他の半導体エピタキシャル層の成長によく使用されます。その他のご質問がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングスカート

UV LEDエピサセプタ

CVD SiC コーティングバッフル

CVD SiCグラファイトシリンダー

CVD SiC コーティング ノズル

CVD SiC コーティングプロテクター

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CVD SiC コーティングノズル