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中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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SiCコーティングコレクタートップ

CVD SiC コーティングの信頼できるメーカーである VeTek Semiconductor へようこそ。当社は、高純度グラファイトを使用して専門的に設計され、不純物が 5ppm 未満の最先端の CVD SiC コーティングを備えた Aixtron SiC コーティングコレクタートップを提供することに誇りを持っています。ご質問やお問い合わせがございましたら、お気軽にお問い合わせください

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SiCコーティングコレクター底部

VeTek Semiconductor は、CVD SiC コーティング製造の専門知識を活かして、Aixtron SiC コーティングコレクターボトムを自信を持って提供します。これらの SiC コーティングコレクター底部は高純度グラファイトを使用して構築され、CVD SiC でコーティングされているため、不純物は 5ppm 以下に抑えられます。さらに詳しい情報やお問い合わせについては、お気軽にお問い合わせください。

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SiC コーティングカバーセグメントインナー

VeTek Semiconductor では、CVD SiC コーティングと CVD TaC コーティングの研究、開発、工業化を専門としています。代表的な製品の 1 つは、SiC コーティングカバーセグメントインナーです。これは、高精度で高密度にコーティングされた CVD SiC 表面を実現するために広範な処理が施されています。このコーティングは高温に対する優れた耐性を示し、強力な腐食保護を提供します。ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。

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SiC コーティングカバーセグメント

Vetek Semiconductor は、CVD SiC コーティングおよび CVD TaC コーティングの進歩と商品化に専念しています。一例として、当社の SiC コーティングカバーセグメントは細心の注意を払って処理され、その結果、非常に高い精度で緻密な CVD SiC コーティングが施されます。高温に対して優れた耐性を示し、腐食に対して堅牢な保護を提供します。ご質問をお待ちしております。

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MOCVDアクセプター

Vetek Semiconductor は、CVD SiC コーティングと CVD TaC コーティングの研究開発と工業化に重点を置いています。 MOCVDサセプタを例にとると、製品は高精度、緻密なCVD SICコーティング、高温耐性、強力な耐食性で高度に加工されています。弊社へのお問い合わせは大歓迎です。

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プレヒートリング

VeTek Semiconductor は、中国の SiC コーティングメーカーのイノベーターです。VeTek Semiconductor が提供するプリヒートリングは、エピタキシープロセス用に設計されています。均一な炭化ケイ素コーティングと原料としてのハイエンドグラファイト材料により、一貫した堆積が保証され、エピタキシャル層の品質と均一性が向上します。私たちは、お客様との長期的な協力を確立することを楽しみにしています。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

SiCコーティングコレクタートップ

SiCコーティングコレクター底部

SiC コーティング カバー セグメント インナー

SiC コーティング カバー セグメント

MOCVDアクセプター

プレヒートリング

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SiC コーティングカバーセグメントインナー

SiC コーティングカバーセグメント