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中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハ キャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミック コーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。


私たちができるリアクター部品:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産 代表値
結晶構造 FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度 3.21 g/cm3
硬度 ビッカース硬度 2500(500g荷重)
粒径 2~10μm
化学純度 99.99995%
熱容量 640 J·kg-1·K-1
昇華温度 2700℃
曲げ強度 415MPa RT 4点
ヤング率 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率 300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


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EPI用SiCコーティンググラファイトバレルサセプタ

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VeTek Semiconductor は、EPI 用の SiC コーティングされたグラファイト バレル サセプタの専門メーカー、サプライヤー、輸出業者です。 VeTek Semiconductor は、専門チームと最先端のテクノロジーによってサポートされており、手頃な価格で高品質を提供できます。さらに詳しい議論のために当社の工場を訪問することを歓迎します。

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SiC コーティングされたグラファイトるつぼディフレクター

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VeTek Semiconductor は、高品質の SiC コーティングされたグラファイトるつぼデフレクターの製造において長年の経験を持っています。当社は独自の材料研究開発ラボを有しており、お客様のカスタム設計を高品質でサポートします。さらに詳しい議論のために当社の工場を訪問することを歓迎します。

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4インチウェーハ用MOCVDエピタキシャルサセプタ

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VeTek Semiconductor は、4 インチ ウェーハ用の高品質 MOCVD エピタキシャル サセプタの提供に専念している専門メーカーおよびサプライヤーです。豊富な業界経験と専門チームにより、専門的かつ効率的なソリューションをお客様に提供することができます。

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G5用GaNエピタキシャルグラファイトサセプタ

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VeTek Semiconductor は、G5 用の高品質 GaN エピタキシャル グラファイト サセプタの提供に特化した専門メーカーおよびサプライヤーです。当社は国内外の数多くの有名企業と長期的かつ安定したパートナーシップを確立しており、お客様の信頼と尊敬を獲得しています。

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半導体サセプタブロック SiC コーティング

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VeTek Semiconductor の SiC コーティングされた半導体サセプタ ブロックは、信頼性と耐久性に優れたデバイスです。安定した性能と長寿命を維持しながら、高温や過酷な化学環境に耐えるように設計されています。優れたプロセス能力により、半導体サセプタブロック SiC コーティングは交換やメンテナンスの頻度を減らし、生産効率を向上させます。皆様と協力できる機会を楽しみにしています。

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ウルトラピュアグラファイト下半月

ウルトラピュアグラファイト下半月

VeTek Semiconductor は、中国におけるカスタマイズされた超高純度グラファイト ローワー ハーフムーンの大手サプライヤーであり、長年にわたり先端材料を専門としています。当社の超高純度グラファイト ローワー ハーフムーンは、SiC エピタキシャル装置用に特別に設計されており、優れた性能を保証します。超高純度の輸入グラファイトで作られており、信頼性と耐久性を備えています。中国の工場を訪れて、高品質のウルトラピュアグラファイトローワーハーフムーンを直接ご覧ください。

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中国の専門的な 炭化ケイ素コーティング メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の 炭化ケイ素コーティング を購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。
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