中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色および緑色LED、UV LED、深紫外を含むさまざまなタイプのLEDのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640 J·kg-1·K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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ALD 遊星サセプター

ALDプロセスとは、Atomic Layer Epitaxyプロセスを意味します。 Vetek Semiconductor と ALD システムメーカーは、基板上に気流を均一に分配する ALD プロセスの高い要件を満たす、SiC コーティングされた ALD プラネタリサセプタを開発および製造しました。同時に、Vetek Semiconductor の高純度 CVD SiC コーティングにより、プロセスの純度が保証されます。私たちとの協力について話し合うことを歓迎します。

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SiC コーティングサセプタ

Vetek Semiconductor は、CVD SiC コーティングと CVD TaC コーティングの研究開発と工業化に重点を置いています。 SiCコーティングサセプタを例にとると、製品は高精度、緻密なCVD SICコーティング、高温耐性、強力な耐食性で高度に加工されています。弊社へのお問い合わせは大歓迎です。

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SiC結晶成長用CVD SiCブロック

VeTek Semiconductor は、CVD-SiC バルクソース、CVD SiC コーティング、CVD TaC コーティングの研究開発と工業化に重点を置いています。 SiC結晶成長用のCVD SiCブロックを例にとると、製品加工技術は先進的で、成長速度が速く、高温耐性、耐食性が強いです。お問い合わせ歓迎です。

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SiC結晶成長新技術

Vetek Semiconductor の化学気相成長 (CVD) によって形成された超高純度炭化ケイ素 (SiC) は、物理気相輸送 (PVT) によって炭化ケイ素結晶を成長させるための原料として使用できます。 SiC結晶成長新技術では、原料をるつぼに入れて種結晶上に昇華させます。廃棄された CVD-SiC ブロックを使用して、SiC 結晶成長の原料として材料をリサイクルします。私たちとのパートナーシップを確立することを歓迎します。

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CVD SiCシャワーヘッド

VeTek Semiconductor は、中国の大手 CVD SiC シャワーヘッドメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC 材料に特化してきました。CVD SiC シャワーヘッドは、その優れた熱化学的安定性、高い機械的強度、耐衝撃性により、フォーカスリングの材料として選ばれています。プラズマ浸食。私たちは、中国での長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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SiCシャワーヘッド

VeTek Semiconductor は、中国の有数の SiC シャワーヘッドメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC 材料に特化してきました。SiC シャワーヘッドは、その優れた熱化学的安定性、高い機械的強度、およびプラズマ侵食に対する耐性により、フォーカスリングの材料として選ばれています。 .私たちは、中国におけるあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

中国 炭化ケイ素コーティング メーカー、サプライヤー、工場

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek 半導体炭化ケイ素コーティングパラメータ:

ALD 遊星サセプター

SiC コーティングサセプタ

SiC結晶成長用CVD SiCブロック

SiC結晶成長新技術

CVD SiCシャワーヘッド

SiCシャワーヘッド

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