SiC コーティングサセプタ

当社の工場からSiCコーティングサセプターを安心して購入できます。

VeTek Semiconductor は CVD SiC コーティング メーカーとして、高純度グラファイト製の SiC コーティング サセプターと SiC コーティング サセプター (5ppm 以下) を提供したいと考えています。お問い合わせを歓迎します。

Vetek Semiconductor では、技術の研究、開発、製造に特化し、業界向けにさまざまな先進製品を提供しています。当社の主な製品ラインには、CVD SiC コーティング + 高純度グラファイト、SiC コーティング サセプタ、半導体石英、CVD TaC コーティング + 高純度グラファイト、硬質フェルトなどがあります。

当社の主力製品の 1 つは、エピタキシャル ウェーハ製造の厳しい要件を満たす革新的な技術で開発された SiC コーティング サセプタです。エピタキシャル ウェーハは、厳密な波長分布と低い表面欠陥レベルを示す必要があるため、当社の SiC コーティング サセプタは、これらの重要なパラメータを達成するために不可欠なコンポーネントとなっています。

当社の SiC コーティングサセプターの利点:

基材の保護: CVD SiC コーティングは、エピタキシャル プロセス中に保護層として機能し、外部環境による浸食や損傷から基材を効果的に保護します。この保護対策により、機器の耐用年数が大幅に延長されます。

優れた熱伝導性：当社のCVD SiCコーティングは優れた熱伝導性を有しており、基材の熱を効率よくコーティング表面に伝えます。これにより、エピタキシー中の熱管理効率が向上し、装置の最適な動作温度が確保されます。

膜品質の向上: CVD SiC コーティングは平坦で均一な表面を提供し、膜成長のための理想的な基盤を作り出します。これにより、格子不整合に起因する欠陥が減少し、エピタキシャル膜の結晶性と品質が向上し、最終的にはその性能と信頼性が向上します。

エピタキシャル ウェーハ製造のニーズに合わせて当社の SiC コーティング サセプタを選択すると、強化された保護、優れた熱伝導率、膜品質の向上によるメリットが得られます。 VeTek Semiconductor の革新的なソリューションを信頼して、半導体業界での成功を推進してください。

CVD SiC コーティングの基本物性:

生産ショップ：

半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: