TaC コーティングされたディフレクターリング

VeTek Semiconductor の TaC コーティングされたディフレクターリングは、SiC 結晶成長プロセス用に設計された高度に特殊化されたコンポーネントです。 TaC コーティングは、結晶成長プロセス中の高温および腐食環境に対処するために、優れた高温耐性と化学的不活性を提供します。これにより、コンポーネントの安定した性能と長寿命が保証され、交換頻度とダウンタイムが削減されます。当社は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、中国の TaC コーティングデフレクターリングの専門メーカーおよびサプライヤーです。当社の TaC コーティングデフレクターリングは、SiC 結晶成長プロセスで使用するために設計された高度に特殊なコンポーネントです。これらのコンポーネントは、高温耐性、優れた耐久性、比類のない化学的不活性性が必要な環境において重要です。

TaC コーティングされたデフレクターリングは高純度の炭化タンタルから製造されており、優れた熱伝導率と高温や熱衝撃に対する優れた耐性を備えています。コンポーネントの TaC コーティングは、結晶成長によく見られる攻撃的な化学物質や過酷な環境に対する追加の保護層を提供します。コーティングの存在により、コンポーネントの耐久性と寿命が向上し、複数のサイクルにわたって一貫したパフォーマンスが維持されます。

TaC コーティングされたデフレクターリングは、最大 2200°C の温度に耐えることができるため、高温プロセスに最適です。TaC コーティングされたデフレクターリングは、主に半導体業界、特に炭化ケイ素の結晶成長に使用されます。研究および工業規模の結晶成長リアクターの両方に適しています。

TaC コーティングデフレクターリングの製品パラメータ

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*cm
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変化	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)