LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

VeTek Semiconductor は、中国の LPE メーカーおよびイノベーター向けの大規模な炭化タンタルコーティングされたハーフムーン部品です。当社は長年にわたり TaC コーティングに特化してきました。当社の製品は摂氏 2000 度を超える温度に耐えることができ、消耗品の寿命を延ばします。今後も期待しています。中国での長期的なパートナーになるために。

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製品説明

VeTek Semiconductor は専門メーカーとして、LPE 用の高品質のタンタルカーバイドコーティングされたハーフムーン部品を提供したいと考えています。

VeTek Semiconductor は、高品質とリーズナブルな価格を備えた中国の専門リーダーである SiC、TaC コーティング、固体 SiC メーカーです。当社の LPE 用タンタルカーバイドコーティングされたハーフムーン部品は、基板の搬送、温度制御、加熱のために水平および垂直エピタキシー装置の反応チャンバーで使用されます。保存、換気、保護、その他の機能を備え、反応チャンバー内で成長する SiC エピタキシー層の厚さ、ドーピング、欠陥、その他の材料特性を共同で制御します。

VeTek Semiconductor 関連製品: 上半月、下半月、保護カバー、絶縁カバー、プロセス空気分流インターフェース。当社は、反応チャンバーの SiC コーティングおよび TaC コーティングされたコンポーネントソリューションの全範囲をお客様に提供することに尽力しています。

LPE用炭化タンタルコーティング半月部品の製品パラメータ

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*cm
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変更	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)