SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング

VeTek Semiconductor は、中国の SiC エピタキシャルリアクター用の大規模な TaC コーティングリングのメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり TaC コーティングに特化してきました。当社の製品は、高純度、高安定性、優れた耐食性、高い結合強度を備えています。中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコートリングの製品紹介

VeTek Semiconductor は、中国に本拠を置く有名な企業で、高品質の TaC および SiC コーティング、および SiC エピタキシャルリアクター用の高純度 TaC コーティングリングの製造における専門知識で知られています。当社は優れた製品を競争力のある価格で提供することに誇りを持っています。ぜひお問い合わせいただき、当社が提供する優れたソリューションを発見してください。

当社の SiC エピタキシャルリアクター用の TaC コーティングリングは重要な役割を果たします。これらのリングは当社のハーフムーンセットに不可欠な部分であり、基材のサポート、正確な温度制御、効果的な断熱、効率的な換気、信頼性の高い保護などの重要な機能を提供します。これらのリングは調和して動作することにより、反応チャンバー内で成長する SiC エピタキシャル層の厚さ、ドーピング、欠陥特性を細心の注意を払って制御します。

VeTek Semiconductor は、優れた TaC コーティングリングに加えて、反応チャンバー用に特別に設計された幅広い関連製品を提供しています。当社の製品ラインナップには、上下ハーフムーン、保護カバー、断熱カバー、プロセス空気分流インターフェイスが含まれます。これらの各コンポーネントには、性能を向上させ、寿命を延ばすために、細心の注意を払って SiC または TaC コーティングが施されています。

SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリングの製品パラメータ

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*cm
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変化	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)