炭化タンタルコーティングチャック

VeTek Semiconductor は、中国のタンタルカーバイドコーティングチャックの大手メーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり TaC コーティングに特化してきました。当社の製品は高純度で 2000℃ までの高温耐性を備えています。お客様の長期にわたる製品となることを楽しみにしています。中国のパートナー。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、高品質の炭化タンタルコーティングチャック、SiC コーティング部品を競争力のある価格で供給しています。お問い合わせを歓迎します。VeTek Semiconductor の炭化タンタルコーティングチャックは、AIXTRON G10 MOCVD システム用に特別に設計されています。このアクセサリは、半導体製造の効率と品質を向上させ、優れたパフォーマンスと信頼性を実現します。

高品質の素材から作られ、精密に製造されたチャックは、CVD 炭化タンタル (TaC) でコーティングされたグラファイト基板を備えています。このコーティングは、優れた熱安定性、高純度、および高温耐性を提供します。 MOCVD プロセスの厳しい条件下でも信頼性の高いパフォーマンスを保証します。

チャックはさまざまな半導体ウェーハサイズに合わせてカスタマイズできるため、さまざまな生産要件に適しています。その堅牢な構造により、ウェーハキャリアとサセプタに関連するダウンタイムとメンテナンスコストが最小限に抑えられます。

VeTek Semiconductor タンタルカーバイドコーティングチャックを備えた AIXTRON G10 MOCVD システムは、半導体製造においてより高い効率と優れた結果を達成します。その卓越した熱安定性、さまざまなウェーハサイズとの互換性、および信頼性の高いパフォーマンスにより、生産効率を最適化し、困難な MOCVD 環境で優れた成果を達成するための不可欠なツールとなっています。

炭化タンタルコーティングチャックの製品パラメータ

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*センチメートル
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変更	-10~-20μm
コーティングの厚さ	≥20um 代表値 (35um±10um)