TaCコーティング回転板

VeTek SemiconductorのTaCコーティング回転プレートは、高純度組成、5ppm未満の不純物含有量、緻密で均一な構造を備えており、LPE EPIシステム、Aixtronシステム、Nuflareシステム、TEL CVDシステム、VEECOシステム、TSIで広く使用されています。システム。

優れた機械的特性:

コーティング硬度は2300HVまであり、耐摩耗性に優れています。

塗膜と基材の密着性が強く、剥がれたり剥がれたりしにくいです。

コーティングは高温でも良好な構造安定性を維持できます。

優れた耐食性：

TaC素材自体は化学的安定性、耐食性に優れています。

VeTek 半導体のコーティングは、さまざまな攻撃的なガス環境でも優れた性能を発揮します。

機器の内部コンポーネントを腐食損傷から効果的に保護できます。

高い表面仕上げ:

VeTek 半導体は、正確なコーティングプロセスを使用して、望ましい仕上げを実現します。

表面粗さが低いため、粒子の蓄積や堆積が軽減されます。

コーティングの一貫性は良好です:

ヴェテック・セミコンダクターは、バッチ間で一貫したパフォーマンスを保証するための音質管理システムを備えています。

コーティングの厚さは均一に分布しており、明らかな局所的な欠陥はありません。

優れた実用的なアプリケーション性能:

VeTek 半導体の TaC コーティングは、国内外の多くの有名なエピタキシャル装置メーカーで広く使用されています。

TaC コーティング回転プレートの製品物理パラメータ: