CVD TaC コーティングるつぼ

TaC コーティング回転サセプタは、CVD や MBE などの高温成膜プロセスで重要な役割を果たし、半導体製造におけるウェーハ処理の重要なコンポーネントです。その中で、TaCコーティング耐高温性、耐食性、化学的安定性に優れており、ウェーハ加工時の高精度・高品質を保証します。

CVD TaC コーティングるつぼは通常、TaC コーティングと黒鉛基板。その中でもTaCは融点が3880℃にも達する高融点セラミックス材料です。非常に高い硬度（ビッカース硬度 2000 HV まで）、耐化学腐食性、強力な耐酸化性を備えています。したがって、TaC コーティングは半導体プロセス技術において優れた耐高温材料です。

グラファイト基板は、良好な熱伝導率（熱伝導率は約２１Ｗ／ｍ・Ｋ）および優れた機械的安定性を有する。この特性により、グラファイトが理想的なコーティングとなることが決まります。基板.

CVD TaC コーティングるつぼは主に以下の半導体処理技術で使用されます。:

ウェーハ製造: VeTek Semiconductor CVD TaC コーティングるつぼは、優れた高温耐性 (融点 3880°C まで) と耐食性を備えているため、高温蒸着 (CVD) やエピタキシャル成長などの主要なウェーハ製造プロセスでよく使用されます。超高温環境下における優れた構造安定性と相まって、極めて過酷な条件下でも装置を長期間安定して稼働させることができ、ウェーハの生産効率と品質を効果的に向上させることができます。

エピタキシャル成長プロセス: などのエピタキシャルプロセスにおいて化学蒸着 (CVD)分子線エピタキシー (MBE)、CVD TaC コーティングるつぼは、搬送において重要な役割を果たします。その TaC コーティングは、極端な温度と腐食性雰囲気下で材料の高純度を維持するだけでなく、材料上の反応物質の汚染や反応器の腐食を効果的に防止し、生産プロセスの精度と製品の一貫性を保証します。

中国の大手 CVD TaC コーティングるつぼメーカーおよびリーダーとして、VeTek Semiconductor は、お客様の装置およびプロセス要件に応じてカスタマイズされた製品と技術サービスを提供できます。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーになれることを心から願っています。

微細断面に炭化タンタル（TaC）コーティング：

TaCコーティングの物性：

ヴェテック・セミコンダクター CVD TaCコーティングるつぼ取扱店：