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中国 SiCエピタキシープロセス メーカー、サプライヤー、工場
VeTek Semiconductor の独自のカーバイド コーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシー プロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。
当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。 。
化合物半導体結晶
VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティング プロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクター コンポーネントの寿命が延長されます。
断熱材
るつぼ、シードホルダー、ディフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールド リング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハ キャリア、サテライト トレイ、シャワー ヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタ コンポーネント、MOCVD コンポーネント。
目的：
LED(発光ダイオード)ウエハキャリア
ALD(半導体)レシーバー
EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）
SiC コーティングと TaC コーティングの比較:
| SiC | TaC | |
| 主な特徴 | 超高純度、優れた耐プラズマ性 | 優れた高温安定性（高温プロセス適合性） |
| 純度 | >99.9999% | >99.9999% |
| 密度 (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
| 硬度(kg/mm2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
| 抵抗率 [Ωcm] | 0.1～15,000 | <1 |
| 熱伝導率(W/m-K) | 200-360 | 22 |
| 熱膨張係数(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
| 応用 | 半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ） | SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品 |
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GaN on SiC エピアクセプタ
VeTek Semiconductor は、中国における GaN on SiC エピサセプタ、CVD SiC コーティング、CVD TAC COATING グラファイトサセプタの専門メーカーです。中でも、GaN on SiC エピサセプタは半導体プロセスにおいて重要な役割を果たします。優れた熱伝導性、高温処理能力、化学的安定性により、GaN エピタキシャル成長プロセスの高効率と材料品質を保証します。引き続きのご相談を心よりお待ちしております。
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CVD TaC コーティングキャリア
VeTek Semiconductor の CVD TaC コーティング キャリアは、主に半導体製造のエピタキシャル プロセス用に設計されています。 CVD TaC コーティングキャリアの超高融点、優れた耐食性、卓越した熱安定性は、半導体エピタキシャルプロセスに不可欠な製品です。私たちは、お客様と長期的なビジネス関係を構築することを心から望んでいます。
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TaCコーティングガイドリング
VeTek Semiconductor の TaC コーティング ガイド リングは、化学蒸着 (CVD) と呼ばれる高度な技術を使用してグラファイト部品に炭化タンタル コーティングを施すことによって作成されます。この方法は十分に確立されており、優れたコーティング特性を提供します。 TaCコーティングガイドリングを活用することで、黒鉛部品の寿命を大幅に延長し、黒鉛不純物の移動を抑制し、SiCおよびAlN単結晶の品質を確実に維持することができます。お問い合わせを歓迎します。
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TaC コーティングされたグラファイトサセプター
VeTek Semiconductor の TaC コーティング グラファイト サセプタは、化学蒸着 (CVD) 法を使用してグラファイト部品の表面に炭化タンタル コーティングを作成します。このプロセスは最も成熟しており、最高のコーティング特性を備えています。 TaC コーティングされたグラファイト サセプターは、グラファイト コンポーネントの耐用年数を延ばし、グラファイト不純物の移動を抑制し、エピタキシーの品質を保証します。 VeTek Semiconductor はあなたのお問い合わせをお待ちしております。
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TaC コーティングサセプタ
VeTek Semiconductor は、TaC コーティング サセプタを発表します。卓越した TaC コーティングを備えたこのサセプタは、従来のソリューションとは一線を画す多くの利点を提供します。VeTek Semiconductor の TaC コーティング サセプタは、既存のシステムにシームレスに統合し、互換性と効率的な動作を保証します。その信頼性の高い性能と高品質の TaC コーティングは、SiC エピタキシー プロセスにおいて常に優れた結果をもたらします。当社は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティング回転板
VeTek Semiconductor の TaC コーティング回転プレートは、優れた TaC コーティングを誇ります。その卓越した TaC コーティングにより、TaC コーティング回転プレートは、従来のソリューションとは一線を画す、顕著な高温耐性と化学的不活性を誇ります。当社は、競争力のある高品質の製品を提供することに尽力しています。価格を重視し、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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中国の専門的な SiCエピタキシープロセス メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の SiCエピタキシープロセス を購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。
