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中国 SiCエピタキシープロセス メーカー、サプライヤー、工場
VeTek Semiconductor の独自のカーバイド コーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシー プロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。
当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。 。
化合物半導体結晶
VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティング プロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクター コンポーネントの寿命が延長されます。
断熱材
るつぼ、シードホルダー、ディフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールド リング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハ キャリア、サテライト トレイ、シャワー ヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタ コンポーネント、MOCVD コンポーネント。
目的：
LED(発光ダイオード)ウエハキャリア
ALD(半導体)レシーバー
EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）
SiC コーティングと TaC コーティングの比較:
| SiC | TaC | |
| 主な特徴 | 超高純度、優れた耐プラズマ性 | 優れた高温安定性（高温プロセス適合性） |
| 純度 | >99.9999% | >99.9999% |
| 密度 (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
| 硬度(kg/mm2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
| 抵抗率 [Ωcm] | 0.1～15,000 | <1 |
| 熱伝導率(W/m-K) | 200-360 | 22 |
| 熱膨張係数(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
| 応用 | 半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ） | SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品 |
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TaCコーティングヒーター
VeTek Semiconductor は、中国の TaC コーティング ヒーターの大手メーカーおよびイノベーターです。この製品は非常に高い融点（約3880℃）を持っています。 TaC コーティング ヒーターは融点が高いため、特に有機金属化学気相成長 (MOCVD) プロセスにおける窒化ガリウム (GaN) エピタキシャル層の成長において、非常に高い温度で動作することができます。 VeTek Semiconductor は、半導体業界に高度な技術と製品ソリューションを提供することに尽力しています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティングチャック
中国の専門的な TaC コーティング チャック メーカーおよびサプライヤーとして、VeTek Semiconductor の TaC コーティング チャックは、半導体炉用に特別に設計されています。高温耐性、化学的不活性性、優れた性能を備えた Vetek Semiconductor の革新的なテクノロジーは、半導体製造業界に高品質の製造基準を保証する信頼性の高いソリューションを提供します。私たちは、当社の製品が高度な技術と高品質の製品ソリューションを提供できると信じています。
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TaCコーティングチューブ
中国の専門的な TaC コーティング チューブ メーカーおよびサプライヤーとして、VeTek Semiconductor の TaC コーティング チューブは、炭化ケイ素単結晶の成長を成功させるための重要なコンポーネントです。高温耐性、化学的不活性性、優れた性能により、一貫した結果を伴う高品質の結晶の生産が保証されます。 PVT 法による SiC 結晶成長プロセスを強化し、優れた結果を達成するには、当社の革新的なソリューションを信頼してください。お問い合わせを歓迎します。
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CVD TAC コーティング
VeTek Semiconductor は、中国における CVD TAC コーティングの大手メーカー、革新者、リーダーです。長年にわたり、当社はCVD TaCコーティングカバー、CVD TaCコーティングリング、CVD TaCコーティングキャリアなどのさまざまなCVD TACコーティング製品に注力してきました。VeTek Semiconductorはカスタマイズされた製品サービスと満足のいく製品価格をサポートしており、お客様のさらなるご利用をお待ちしております。相談。
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TaC コーティング スペアパーツ
VeTek Semiconductor は、中国の TaC コーティング プレートおよびその他の TaC コーティング スペアパーツの専門メーカーです。 TaC コーティングは現在、主に炭化ケイ素単結晶成長 (PVT 法)、エピタキシャル ディスク (炭化ケイ素エピタキシー、LED エピタキシーを含む) などのプロセスで使用されています。TaC コーティング プレートの良好な長期安定性と組み合わせることで、VeTek Semiconductor TaCコーティング プレートは、TaC コーティング スペアパーツのベンチマークとなっています。私たちは、あなたが私たちの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
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GaN on SiC エピアクセプタ
VeTek Semiconductor は、中国における GaN on SiC エピサセプタ、CVD SiC コーティング、CVD TAC COATING グラファイトサセプタの専門メーカーです。中でも、GaN on SiC エピサセプタは半導体プロセスにおいて重要な役割を果たします。優れた熱伝導性、高温処理能力、化学的安定性により、GaN エピタキシャル成長プロセスの高効率と材料品質を保証します。引き続きのご相談を心よりお待ちしております。
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中国の専門的な SiCエピタキシープロセス メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の SiCエピタキシープロセス を購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。
