TaCコーティングチャック

VeTek Semiconductor は、高品質とリーズナブルな価格を備えた中国の TaC コーティング チャック、TaC コーティング チューブ、TaC コーティング ホルダー、TaC コーティング グラファイト トレイのプロフェッショナル リーダー メーカーです。ようこそお問い合わせください。

VeTek Semiconductor の TaC コーティング チャックは、半導体製造における高性能コンポーネントの不可欠な部分です。次の主要な特性によって異なります。

高い真空完全性: TaC コーティングされたチャックは、処理サイクル全体を通じて高レベルの真空完全性を維持し、ガス放出と汚染を効果的に低減し、半導体材料の純度と品質を保証します。

高温耐性と耐薬品性: TaC コーティングは非常に熱的および化学的耐性があり、最大 2200°C の温度で動作し、水素、アンモニア、シリコン蒸気などの腐食性ガスに耐性があります。

機器寿命の延長: TaC コーティング チャックは、耐摩耗性と熱衝撃に対する優れた耐性により、装置の寿命を大幅に延長し、メンテナンスの必要性を軽減します。

生産効率の向上: TaC コーティング チャックは、汚染を軽減し、材料の純度を向上させることで、生産効率と製品品質を向上させ、生産コストを削減します。

さらに、TaC コーティング チャックは優れた汎用性を示し、幅広い半導体基板のサイズと形状に対応できます。カスタマイズ可能な設計により、TaC コーティングされたチャックを既存の半導体炉システムにシームレスに統合できるため、ダウンタイムが大幅に削減され、生産性が最大化されます。この柔軟性により、機器の互換性が向上するだけでなく、生産プロセスの継続性と効率性も確保され、半導体メーカーに信頼性の高い効率的なソリューションが提供されます。

VeTek Semiconductor の TaC コーティング チャックの性能と適応性の利点により、チャックは半導体製造において不可欠かつ重要なコンポーネントとなっています。お問い合わせを歓迎します。

TaCコーティングチャックの製品パラメータ:

生産ショップ:

半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要: