シリコンオンインシュレーターウェーハ

の動作原理ヴェテック・セミコンダクターのシリコンオンインシュレーターウェーハ主にそのユニークな構造と材料特性に依存します。そして SOIウェーハは 3 つの層で構成されます。最上層は単結晶シリコン デバイス層、中間は絶縁埋め込み酸化物 (BOX) 層、最下層は支持シリコン基板です。

シリコン・オン・インシュレーター・ウェーハ (SOI) の構造

絶縁層の形成: Silicon On Insulator Wafer は通常、Smart Cut™ 技術または SIMOX (Separation by IMplanted OXygen) 技術を使用して製造されます。 Smart Cut™ テクノロジーは、水素イオンをシリコンウェーハに注入して気泡層を形成し、水素が注入されたウェーハを支持シリコンに接着します。ウエハース。 

熱処理後、水素が注入されたウェーハはバブル層から分離され、SOI 構造が形成されます。SIMOXテクノロジー高エネルギーの酸素イオンをシリコンウェーハに注入して、高温で酸化シリコン層を形成します。

寄生容量を低減する：のBOX層炭化ケイ素ウェハデバイス層とベースシリコンを効果的に分離し、コストを大幅に削減します。g 寄生容量。この絶縁により消費電力が削減され、デバイスの速度とパフォーマンスが向上します。

ラッチアップ効果を回避する: の n ウェルおよび p ウェルデバイスSOIウェーハは完全に分離されており、従来の CMOS 構造におけるラッチアップ効果を回避します。これにより、ウェーハSOI より高速に製造できるようになります。

エッチストップ機能: の単結晶シリコンデバイス層SOIウェーハのBOX層構造はMEMSや光電子デバイスの製造を容易にし、優れたエッチストップ機能を提供します。

こうした特徴を通じて、シリコンオンインシュレーターウェーハ半導体プロセスにおいて重要な役割を果たし、集積回路 (IC) と微小電気機械システム (MEMS)産業。皆様との更なるコミュニケーションとご協力を心よりお待ちしております。

200mm SOl ウェーハの仕様パラメータ:

Silicon On Insulator ウェーハの製造ショップ: