溶融石英るつぼ

VeTek Semiconductor は、半導体処理用の最先端の溶融石英るつぼを提供しています。これらのるつぼは高品質の半導体グレードの石英で作られており、優れた耐熱性と化学的安定性を備えています。精度と一貫性を維持しながら、極端な高温条件にも耐えることができます。 VeTek Semiconductor は、中国における半導体プロセスの信頼できる長期パートナーです。

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製品説明

VeTek Semiconductor は専門メーカーとして、高品質の溶融石英るつぼを提供したいと考えています。

VeTek Semiconductor の半導体溶融石英るつぼは、高純度の半導体グレードの石英だけで作られており、優れた熱安定性と純度を確保し、半導体プロセスに必要な高い要求を満たします。当社の半導体溶融石英るつぼは、優れた耐熱性と化学的安定性を備えており、高温条件下の極端な環境に耐えることができます。高純度の石英材料は優れた化学純度を保証し、半導体製造に対する不純物の影響を回避します。これらのるつぼは、結晶成長、エッチング、スパッタリング、アニーリングなどのプロセスにおいて優れた性能と信頼性を示します。

VeTek Semiconductor の溶融石英るつぼは、半導体業界の厳しい基準を満たすように慎重に設計および製造されています。当社では、各るつぼが一貫した性能を発揮し、半導体製造に不可欠なツールとなるよう、設計の均一性に重点を置いています。

VeTek Semiconductor は、最高品質の半導体石英るつぼをお客様に提供することに尽力しています。私たちは豊富な経験と専門知識を持ち、研究開発、製造、供給の最前線に立っています。当社はお客様と長期的なパートナーシップを確立し、カスタマイズされたソリューションと包括的な技術サポートを提供します。

半導体石英材料のパラメータ:

アイテム		16インチ	18インチ	20"	22インチ	24インチ	26"Ⅱ	28"	32"
外径(mm)	D1	404±2	457±3	507±3	556±3	611±3	656±3	705±3	810±3
外径(mm)	D2	404±2	457±3	507±3	556±3	611±3	656±3	705±3	810±3
厚さ(mm)	T1、T2	8.5±2	9±2	10(-2/+3)	11(-2/+3)	11(-2/+3)	12(-2/+3)	13(-2/+3)	16±4
	TR	8.5±2	10±2	11(-2/+3)	12(-2/+3)	12(-2/+3)	12(-2/+3)	13(-2/+3)	23±5
	結核	8.5±2	10±2	11(-2/+3)	12(-2/+3)	12(-2/+3)	12(-2/+3)	13(-2/+3)	16±4
真空透明層(mm)	W	≥2.5	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0
	R	≥2.5	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	23.0	≧3.0
	B	≥2.5	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0	≧3.0
R形状	R1	90	120	90	110	120	120	120	160
R形状	R2	406	500	508	558	610	660	711	810