クォーツウエハーボート

ヴェテックセミコンダクター クォーツウエハーボート主に半導体加工時にシリコンウェーハ（ウエハ）を搬送・搬送するために使用されます。高純度、高温安定性、耐食性と組み合わせることで、現代の半導体産業においてウェーハの品質を確保するための重要なコンポーネントとなっています。

ヴェテックセミコンダクターのクォーツウエハーボートは、拡散、酸化、アニーリングなどの高温プロセス中に複数のシリコン ウェーハを搬送できるように厳密に設計されており、これらのプロセス中にウェーハがずれたり傾いたりすることなく固定位置に留まり、処理中の安定性が保証されます。

半導体加工では、クォーツウエハーボート最大 1200°C の温度に耐えることができるため、熱酸化、拡散、低圧化学蒸着などのさまざまな高温プロセスに適しています (LPCVD）。

また、極めて純度が高いため、Vetek セミコンダクター クォーツこれらの材料により、高温処理中の外部汚染物質によるウェーハ汚染のリスクを軽減できます。石英ウェーハボートの高い化学的安定性により、高温環境下でウェーハの品質に影響を与える可能性のある不純物が放出される可能性が効果的に回避され、ウェーハの高純度が保証されます。

ヴェテックセミコンダクター 石英ウェーハ ボートは、半導体ウェーハのロードとアンロードを最適化するように設計されており、製造プロセスの重要なステップでの損傷のリスクを最小限に抑えます。ウェーハをキャリア内に安全かつ制御された状態で配置することで、全体的な歩留まりと生産効率が向上します。

ヴェテックセミコンダクター石英ウェーハキャリアお客様の多様な製品ニーズに完全に応えるカスタマイズされたサービスを提供できます。私たちは、中国におけるあなたの長期的なパートナーになれることを心から願っています。.

基本物性クォーツウエハーボート:

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