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PyCコーティング硬質フェルトリング
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PyCコーティング硬質フェルトリング

VeTek Semiconductor は、中国におけるカスタマイズされた PyC コーティング リジッド フェルト リングの大手メーカーであり、長年にわたり先端材料を専門としています。当社の PyC コーティング硬質フェルトリングは、緻密な表面と高純度を備えています。当社の工場には2つの研究室と12の生産ライン、千級および百級の生産ワークショップがあり、私たちを訪問することを歓迎します。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、高温用途におけるグラファイト コンポーネントの性能と耐久性を向上させるように設計された最先端のソリューションである PyC コーティング リジッド フェルト リングを提供できることを誇りに思っています。当社の PyC コーティング リジッド フェルト リングは、さまざまな独自の機能と制御可能な純度を備えており、信頼性が高く耐久性の高い材料を必要とする業界にとって理想的な選択肢となっています。

PyC コーティングの重要な特徴の 1 つは、主要素としてカーボンを使用していることです。これは、追加の元素や化学物質を導入することなく、純粋なカーボンを使用してコーティングを製造できることを意味します。熱分解炭素は通常、CVD 反応によって形成されます。この反応では、固体またはガス状の炭化水素を使用して、アモルファス カーボンがグラファイト コンポーネント上に堆積されます。この処理により部品の表面が均一にコーティングされ、小さな孔が埋められ、生のグラファイトよりも耐摩耗性が高い滑らかで硬い表面が得られます。


当社の PyC コーティング リジッド フェルト リングの主な特徴は次のとおりです。

優れた高温性能: 当社の PyC コーティングは、緻密な構造、並外れた耐熱性、優れた熱伝導率、優れた耐摩耗性を示します。その炭素組成はグラファイトへの強力な接着を可能にし、材料内の残留揮発性物質を効果的に密閉し、炭素粒子による汚染を防ぎます。

制御可能な純度: PyC コーティングは 5ppm という低い純度レベルを達成でき、高純度用途の厳しい要件を満たします。これにより、コーティングされたコンポーネントの完全性と清浄性が確保され、敏感な環境でも最適なパフォーマンスが可能になります。

耐用年数の延長と製品品質の向上: 当社の PyC コーティングをグラファイトコンポーネントに適用することで、耐用年数を大幅に延長できます。これにより、メンテナンスと交換のコストが削減されるだけでなく、製品の全体的な品質も向上します。生産性が向上し、ダウンタイムが減少し、効率が向上します。

VeTek Semiconductor の PyC コーティング硬質フェルト リングは、Si/SiC 半導体結晶成長、イオン注入、半導体金属精錬、機器分析などの高温分野で幅広く応用されています。これにより、これらのプロセスにおけるグラファイトコンポーネントの安定性、寿命、およびパフォーマンスの向上が保証されます。 VeTek Semiconductor の PyC コーティングを選択すると、高温性能が向上し、コンポーネントの寿命が延長され、製品全体の品質が向上します。新規のお客様も既存のお客様も、私たちと協力してより良い未来を共に築いていただけることを歓迎します。


熱分解炭素 (PyC) コーティングパラメータ
代表的な性能 ユニット 仕様
結晶構造 六角
位置合わせ 001 方向に沿った配向または非配向
かさ密度 g/cm3 ~2.24
微細構造 多結晶/多層グラフェン
硬度 GPa 1.1
弾性率 GPa 10
一般的な厚さ 1つ 30~100
表面粗さ 1つ 1.5
製品の純度 ppm ≤5ppm


500 倍の顕微鏡下で見た熱分解炭素コーティングの効果。無傷で密閉された表面。


VeTek 半導体製造工場


半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要:


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