TaC コーティングされたグラファイトウェーハキャリア

VeTek Semiconductor は、中国の大手 TaC コーティンググラファイトウェーハキャリアメーカーおよびイノベーターです。当社は長年にわたり SiC および TaC コーティングに特化してきました。当社の TaC コーティンググラファイトウェーハキャリアは、より高い耐熱性と耐摩耗性を備えています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

VeTek Semiconductor のカスタマイズされた TaC コーティンググラファイトウェーハキャリアを安心して購入できます。ご協力をお待ちしております。詳しく知りたい場合は、今すぐご相談ください。すぐにご返信いたします。

VeTek Semiconductor TaC コーティングされたグラファイトウェーハキャリアは、エピタキシーリアクター内のウェーハと直接相互作用し、効率と性能を向上させます。炭化ケイ素または炭化タンタルコーティングのオプションにより、VeTek Semiconductor TaC コーティンググラファイトウェハーキャリアは寿命が延長され、炭化タンタルの場合は最大 2 ～ 3 倍長くなります。 LPE SiCエピタキシャル炉、JSG、NASOエピタキシャル炉など様々な機種に対応。

VeTek Semiconductor TaC コーティングされたグラファイトキャリアは、正確な反応化学量論を保証し、不純物の移行を防止し、2000°C を超えても温度安定性を維持します。 H2、NH3、SiH4、Si に対して優れた耐性を示し、過酷な化学環境から保護します。熱衝撃に耐えるため、コーティングの剥離を生じることなく、高速な動作サイクルが可能になります。

VeTek Semiconductor TaC コーティングは、超高純度を保証し、不純物を排除し、厳しい寸法公差を満たすコンフォーマルなカバレッジを保証します。 VeTek Semiconductor の高度なグラファイト処理能力により、お客様のカスタマイズニーズを満たす準備が整っています。コーティングサービスが必要な場合でも、包括的なソリューションが必要な場合でも、当社の専門エンジニアチームは、お客様の特定の用途に最適なソリューションを設計する準備ができています。お客様の要件と期待に合わせた高品質の製品をお届けする当社を信頼してください。

PVT法SiC結晶成長

TaCコーティンググラファイトウェーハキャリアの製品パラメータ

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*センチメートル
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変化	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)