電子ビームガン用ガラス質炭素被覆黒鉛るつぼ

VeTek Semiconductor は専門メーカーとして、電子ビームガン用の高品質のガラス質炭素コーティンググラファイトるつぼを提供したいと考えています。

電子ビームガン用のガラス質カーボンコーティンググラファイトるつぼは、さまざまなメーカーの蒸発源と互換性があり、さまざまな材料で入手できます。一般的なオプションには、好ましい熱特性と手頃な価格で知られるカーボン グラファイトおよびガラス質コーティングされたカーボン グラファイトが含まれます。

カーボングラファイトは、相互につながった多孔性を持つ高密度の多結晶材料です。 5ppm以下まで精製可能です。

ガラス質コーティングされたカーボングラファイトライナーは高級カーボンから作られており、1,400℃以上のベーキングプロセスを経て多孔性が除去され、非多孔質の表面が得られます。

ガラス状コーティングされたグラファイトの代替品として、VeTek Semiconductor るつぼライナーにはアモルファス カーボン処理が施され、硬く、耐摩耗性があり、非多孔質の表面が得られます。

特徴：

・各種グラファイト材料を基材として使用可能です。

●グラファイト基材の特性を損ないません。

●黒鉛粉の発生を抑えることができます。

- 耐久性が向上し、傷やその他の摩擦に対する保護が向上します。

アプリケーション:

-シリコン単結晶引き上げ装置用部品

・エピタキシャル成長用部品

-連続鋳造用金型

・ガラス封止治具

VeTek 半導体製造工場

半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: