電気溶融水晶

電気溶融石英は高純度のSiCl4を材料とし、水素と酸素の炎で溶かします。製品には気泡がありません。 VeTek Semiconductor は成熟した電気溶融石英の生産能力と強力な生産能力を備えており、顧客のニーズに応じて対応する電気溶融石英製品を提供できます。 VeTek Semiconductor はあなたのお問い合わせをお待ちしております。

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製品説明

電気溶融石英は、高純度の四塩化ケイ素（SiCl₄）を原料とし、水素・酸素火炎溶解法により精製されたものです。電気溶融石英は内部に気泡がなく、性能と安定性に優れており、過酷な光・半導体環境下でも長期間安定して使用できます。現在、電融石英は半導体や光学分野で広く使用されています。

半導体分野

● 電気溶融石英は、半導体ウェーハの製造および加工において重要な役割を果たしており、通常はウェーハホルダー、キャリア、拡散管などの部品として使用されます。高温安定性と耐食性により、高温および過酷な化学環境下での材料の純度と安定性が保証され、また、その低い膨張係数により、高温処理中の寸法安定性が保証されます。

● フォトリソグラフィマスク。半導体製造では、石英るつぼセラミックはフォトリソグラフィマスクの基板材料としても使用されます。その高純度および優れた光透過性により、紫外および深紫外 (DUV) リソグラフィーでの正確なパターン転写が可能になります。

● ガス拡散管および反応チャンバー。電気溶融石英製の拡散管や反応室は、CVD、酸化、拡散などのプロセスに最適な素材です。これらの部品は高温での耐食性に優れており、反応性ガスと反応しないため、不純物の混入が回避され、製品の品質が向上します。

光学分野

● 高精度光学部品。電気溶融石英は、その高い透過率と均一性により、特に高透過率と低分散が必要な用途で、レンズ、プリズム、反射鏡などの光学部品の製造によく使用されます。

● UV および深 UV 光学アプリケーション。電気溶融石英は、紫外および深紫外帯域で優れた光透過率を有しており、特に紫外光学システムに適しています。高純度で不純物含有量が低いため、UV 帯域の光吸収が低減され、深 UV 光学システムにおいて重要な材料となっています。

● レーザー光学部品。高エネルギーレーザーシステムでは、高エネルギーレーザー衝撃に対する耐性と複屈折の低さにより、石英るつぼセラミックがレーザーウィンドウ、ビームスプリッター、フィルターなどのコンポーネントの製造によく使用されます。高純度の構造により光損失や熱変形が回避され、高出力レーザーシステムに最適です。