製品

View as

CVD SiC コーティングプロテクター

Vetek Semiconductor が提供する CVD SiC コーティングプロテクターは、LPE SiC エピタキシーを使用します。「LPE」という用語は、通常、減圧化学蒸着 (LPCVD) における低圧エピタキシー (LPE) を指します。半導体製造において、LPE は単結晶薄膜を成長させるための重要なプロセス技術であり、シリコンエピタキシャル層やその他の半導体エピタキシャル層の成長によく使用されます。その他のご質問がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

続きを読むお問い合わせを送信

SiCコーティングされた台座

Vetek Semiconductor は、グラファイトおよび炭化ケイ素材料上の CVD SiC コーティング、TaC コーティングの製造の専門家です。当社はSiCコーティングペデスタル、ウェーハキャリア、ウェーハチャック、ウェーハキャリアトレイ、遊星ディスクなどのOEMおよびODM製品を提供しています。1000グレードのクリーンルームと精製装置を備えており、不純物5ppm以下の製品を提供できます。ご連絡をお待ちしています。すぐにあなたから。

続きを読むお問い合わせを送信

SiCコーティングインレットリング

Vetek Semiconductor は、クライアントと緊密に連携して、特定のニーズに合わせた SiC コーティングインレットリングのオーダーメイド設計を作成することに優れています。これらのSiCコーティングインレットリングは、CVD SiC 装置や炭化ケイ素エピタキシーなどのさまざまな用途向けに細心の注意を払って設計されています。カスタマイズされた SiC コーティングインレットリングソリューションについては、個別のサポートが必要なため、Vetek Semiconductor にお気軽にお問い合わせください。

続きを読むお問い合わせを送信