SiC コーティングされたサポート リング

ヴェテック・セミコンダクターは、中国に拠点を置く大手メーカーおよびサプライヤーであり、以下のようなさまざまな製品の生産を専門としています。SiC コーティングされたサポート リング、CVD 炭化ケイ素コーティング、炭化タンタル コーティング、バルク SiC、SiC 粉末、高純度 SiC 材料。当社は、半導体分野に合わせた包括的な技術支援と最適な製品解像度を提供することに専念しています。さらに詳しい情報やサポートが必要な場合はお気軽にお問い合わせください。

ヴェテック・セミコンダクターのSiC コーティングされたサポート リング新世代の高温耐性材料です。耐食コーティング、耐酸化コーティング、耐摩耗コーティングとして、1650℃以上の環境でも使用でき、半導体分野で広く使用されています。

高品位な特徴は、SiC コーティングされたサポート リング第 3 世代半導体コンポーネントのエピタキシャル成長において非常に重要な役割を果たします。

温度均一性の維持：SiCコーティングされたサポートリングは熱伝導性に優れており、エピタキシャル成長時に均一な温度分布を実現できます。これにより、ウェーハ表面の熱勾配と応力が軽減され、エピタキシャル層の品質が向上します。

極めて高い化学的安定性：エピタキシャル成長の過程で、SiC コーティングされたサポート リング反応ガスからの化学的攻撃に耐えることができ、サポート リングの寿命を延ばし、プロセスの完全性を維持します。この化学的安定性は、汚染のリスクを軽減し、半導体デバイスの純度や性能を向上させるのに役立ちます。

正確な位置決め: SiC コーティングされたサポート リングは、均一な層の堆積を達成するために重要なウェーハの正確な位置を維持できます。この正確な位置決めは、エピタキシャル層の厚さと品質の一貫性を確保するのに役立ちます。

CVD SiCコーティングの基本物性:

VeTek 半導体製造工場:

半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要: