半導体石英ボート

半導体石英ボートは、半導体製造工程で使用される高純度の石英製品です。その主な機能は、高温炉内でウェーハを搬送および搬送することです。半導体、オプトエレクトロニクス、LEDなどの精密産業で広く使用されています。拡散、酸化、CVD等のプロセスに適しています。

製品の特徴：

• 高純度: 半導体石英ボートは不純物含有量が極めて低い高純度石英材料を使用しており、金属イオン汚染を効果的に回避し、半導体プロセスのクリーン環境要件に適しています。

• 高温耐性：耐高温性に優れ、1200℃までの環境下でも長時間安定して使用できます。

• 耐食性：酸やアルカリなどのほとんどの化学試薬に対して優れた耐食性を有しており、CVD炉などの半導体装置内の化学環境に適応できます。

•良好な熱安定性：熱膨張係数が低く、加熱しても変形しにくいため、頻繁な加熱・冷却プロセスに適しています。

仕様

• 生産効率の向上：コンパクトな設計、簡単なウエハ搬送、および向上したプロセス能力。

• 汚染リスクの軽減: 高純度石英素材を使用し、プロセス中の微量不純物汚染を低減します。

• 長寿命と耐久性：高温耐性と耐食性があり、高頻度の使用に適しており、交換コストを削減します。

Vetek Semiconductor は、高品質、高純度の石英ボート製品をお客様に提供することに尽力しています。すべての製品は、半導体業界の高い基準を確実に満たすために厳格に品質管理されています。

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