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TaC コーティングされた深紫外 LED サセプタ
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TaC コーティングされた深紫外 LED サセプタ

VeTek Semiconductor は、TaC コーティングの研究開発、生産、設計、販売を行う総合サプライヤーです。当社は、LED エピタキシー プロセスの重要なコンポーネントである最先端の TaC コーティング UV LED サセプターの製造を専門としています。当社の TaC コーティング深紫外 LED サセプタは、高い熱伝導率、高い機械的強度、生産効率の向上、エピタキシャル ウェーハ保護を提供します。お問い合わせを歓迎します。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、SiC コーティングと TaC コーティングを専門とする中国のトップメーカー、サプライヤー、輸出業者です。当社は製品の品​​質を優先しており、その結果、TaC コーティング UV LED サセプターは高い顧客満足度を獲得しています。 VeTek Semiconductor は、優れたデザイン、高品質の素材、高性能、そして競争力のある価格を提供します。さらに、当社の完璧なアフターサービスは、当社の製品の重要な側面です。弊社の TaC コーティング UV Led サセプター サービスにご興味がございましたら、タイムリーなサポートと迅速な対応を求めてご連絡ください。

LED エピタキシーは LED 製造の重要なステップであり、材料を特定の格子上に堆積させて発光層を形成し、LED が発光できるようにします。 LED エピタキシーは、GaN エピタキシー、InGaN エピタキシー、AlGaInP エピタキシー、AlInGaP エピタキシー、SiC エピタキシーなど、さまざまなタイプに分類できます。青、緑、赤、オレンジ、黄色など、さまざまな波長の LED には、さまざまなエピタキシー タイプが適しています。

LED の製造プロセスでは、エピタキシャル ウェーハの取り扱いと搬送が必要​​です。この点において、TaC コーティングされた UV LED サセプターにはいくつかの利点があります。

高熱伝導率:TaCコーティングは優れた熱伝導率を示し、効果的に熱を放散し、放熱効率を高めます。これにより、エピタキシャルウェーハの過熱が防止され、LED の寿命と性能の安定性が向上します。

エピタキシャル ウェーハの保護: TaC コーティングされた深紫外 LED サセプタは保護層を提供し、エピタキシャル ウェーハを機械的損傷や腐食から保護します。優れた耐食性を示し、化学物質や湿気からウエハーを保護し、完全性を保ちます。

高い機械的強度: TaC コーティングされた UV LED サセプターは高い硬度と機械的強度を備えており、外部の衝撃や応力に耐えることができます。これにより、ハンドリングおよび搬送プロセス中のエピタキシャル ウェーハの安全性と安定性が確保されます。

生産効率の向上: TaC コーティングされた UV Led サセプタは、優れた耐摩耗性と耐腐食性を備え、ウェーハの損傷と汚染を軽減します。これにより、生産時のロスが軽減され、生産効率が向上します。

要約すると、TaC コーティングされた UV LED サセプターは、LED 製造時に高い熱伝導率、強力な保護、高い機械的強度、および改善された生産効率を提供します。エピタキシャルウェーハのハンドリングや搬送をサポートし、LEDの品質と性能の向上に貢献します。


TaC コーティングの基本物性:

TaCコーティングの物性
密度 14.3 (g/cm3)
比放射率 0.3
熱膨張係数 6.3 10-6/K
硬度(HK) 2000 香港
抵抗 1×10-5オーム*cm
熱安定性 <2500℃
グラファイトのサイズ変化 -10~-20μm
膜厚 ≥20um 代表値 (35um±10um)


VeTek 半導体製造工場


半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要:


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