LED EPI レシーバー

VeTek Semiconductor は、TaC コーティングおよび SiC コーティンググラファイト部品の大手サプライヤーです。当社は、LED エピタキシープロセスに不可欠な最先端の LED EPI サセプターの製造を専門としています。イノベーションと品質に重点を置き、LED 業界の厳しい要件を満たす信頼性の高いソリューションを提供します。今すぐお問い合わせいただき、お問い合わせについてご相談いただき、当社の製品がお客様の製造プロセスをどのように強化できるかをご覧ください。

お問い合わせを送信

製品説明

専門メーカーとして、当社は高品質の LED EPI サセプタを提供したいと考えています。

VeTek Semiconductor の LED EPI サセプタは、LED エピタキシー成長プロセス用に設計された最先端の製品です。この高品質サセプタは、LED エピタキシャルウェーハキャリアとして機能し、LED エピタキシャルウェーハの成長を維持するために不可欠なサポートを提供します。 LED EPI サセプタは、その卓越した機能と高度な設計により、エピタキシープロセス全体にわたって最適なパフォーマンスと信頼性を保証します。

高品質の高温を使用して製造された LED EPI サセプタは、優れた温度耐性と化学的安定性を示します。細心の注意を払って設計されたその設計は、優れた表面平坦性と耐摩耗性を提供しながら、エピタキシャルウェーハの均一な接触と成長を保証します。サセプタの構造と寸法は、さまざまなエピタキシャルウェーハサイズに対応できるように調整されており、さまざまな直径と厚さに簡単に対応できます。

LED EPI サセプタは優れた熱伝導率を備えており、効率的に熱を放散してエピタキシャルウェーハの安定した成長温度を維持します。この重要な機能により、プロセスの安定性と一貫性が向上し、一貫した高品質の LED 成長が保証されます。

性能をさらに強化するために、LED EPI サセプタは高級タンタルカーバイド (TaC) 薄膜でコーティングされています。このコーティングは、優れた高温安定性、耐薬品性、硬度、耐摩耗性、および改善された熱伝導率を提供します。 TaC コーティングは製品の耐久性と信頼性を大幅に向上させ、長期にわたる最適なパフォーマンスを保証します。

VeTek Semiconductor の LED EPI サセプタは、さまざまな LED エピタキシー装置およびプロセスとのシームレスな互換性を誇り、多様なエピタキシャルウェーハ成長要件に対応する多用途のソリューションとなります。卓越性と精度を実現する LED EPI サセプタは、信頼性が高く効率的な LED エピタキシープロセスを実現するための理想的な選択肢です。

優れた LED 成長のための信頼できるソリューションである VeTek Semiconductor の LED EPI サセプタでエピタキシー革命を体験してください。

TaC コーティングの基本物性:

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*cm
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変更	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)