TaC コーティングを施した MOCVD サセプタ

VeTek Semiconductor は、TaC コーティングを施した MOCVD サセプタを専門とする中国の大手メーカー、サプライヤー、輸出業者です。最新の販売、低価格、高品質の TaC コーティングを施した MOCVD サセプタを購入するために、当社の工場に来ていただくことを歓迎します。ご協力をお待ちしております。

LED エピタキシーは、結晶の品質管理、材料の選択とマッチング、構造設計と最適化、プロセス制御と一貫性、光抽出効率などの課題に直面しています。適切なエピタキシー ウェーハ キャリア材料を選択することが重要であり、それを炭化タンタル (TaC) 薄膜でコーティングする (TaC コーティング) と、さらなる利点が得られます。

エピタキシーウェーハキャリア材料を選択する際には、いくつかの重要な要素を考慮する必要があります。

温度耐性と化学的安定性: LED エピタキシー プロセスには高温が伴い、化学物質が使用される場合があります。したがって、高温および化学的環境におけるキャリアの安定性を確保するには、良好な温度耐性と化学的安定性を備えた材料を選択する必要があります。

表面の平坦度と耐摩耗性：エピタキシーウェーハの均一な接触と安定した成長を確保するために、エピタキシーウェーハキャリアの表面は良好な平坦度を持っている必要があります。さらに、表面の損傷や摩耗を防ぐために耐摩耗性も重要です。

熱伝導率: 熱伝導率の良い材料を選択すると、熱が効果的に放散され、エピタキシー層の安定した成長温度が維持され、プロセスの安定性と一貫性が向上します。

これに関して、エピタキシーウェーハキャリアを TaC でコーティングすると、次のような利点があります。

高温安定性: TaC コーティングは優れた高温安定性を示し、高温エピタキシープロセス中に構造と性能を維持し、優れた温度耐性を実現します。

化学的安定性: TaC コーティングは一般的な化学物質や大気による腐食に耐性があり、キャリアを化学的劣化から保護し、耐久性を高めます。

硬度と耐摩耗性: TaC コーティングは高い硬度と耐摩耗性を備えており、エピタキシー ウェーハ キャリアの表面を強化し、損傷や摩耗を軽減し、寿命を延ばします。

熱伝導率: TaC コーティングは良好な熱伝導率を示し、熱放散を促進し、エピタキシー層の安定した成長温度を維持し、プロセスの安定性と一貫性を向上させます。

したがって、TaC コーティングを備えたエピタキシー ウェーハ キャリアを選択することは、LED エピタキシーの課題に対処し、高温および化学環境の要件を満たすのに役立ちます。このコーティングは、高温安定性、化学的安定性、硬度と耐摩耗性、熱伝導性などの利点をもたらし、エピタキシーウェーハキャリアの性能、寿命、生産効率の向上に貢献します。

TaC コーティングの基本物性:

VeTek 半導体製造工場

半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: