ウェーハハンドリングロボットアーム

Vetek Semiconductor は、溶射技術で作られたウエハーハンドリングロボットアームの専門家です。

1.溶射技術はロボットアームの耐摩耗性を効果的に向上させることができます。ウェーハハンドリングロボットアームは動作中にウェーハやその他の機器と頻繁に接触します。この高頻度の接触と移動により、機械部品が摩耗しやすくなります。ロボットアームの表面に耐摩耗性材料をスプレーすることにより、部品の摩耗を大幅に軽減し、ロボットアームの耐用年数を延ばし、メンテナンスコストを削減することができます。

2.耐食性の向上も溶射技術の大きな利点です。半導体製造プロセスでは、ロボットアームは腐食性ガスや化学試薬が充満する環境で作業する必要があります。これらの化学物質はロボット アームを腐食し、その性能と精度に影響を与える可能性があります。溶射技術はロボットアームの表面に緻密な防食被膜を形成し、腐食性物質の侵入を効果的に防ぎ、過酷な環境でもロボットアームの安定した動作を保証します。

3.溶射技術により、ロボットアームの熱安定性も向上します。半導体製造プロセスでは高温になる工程があり、ロボットアームは高温環境下でも正確な動作を維持する必要があります。溶射技術は、ロボットアームの表面を高温安定性のある材料でコーティングすることで、ロボットアームが高温で変形したり劣化したりしないようにし、生産ライン全体の信頼性と精度を向上させます。

4.帯電防止コーティングを施すことにより、ロボットアームの性能がさらに向上します。ウェーハは静電気に非常に弱く、静電気が蓄積するとウェーハ表面の汚染や電子デバイスの損傷を引き起こす可能性があります。溶射技術によりロボットアームの表面に帯電防止コーティングを形成することができ、静電気の発生を効果的に低減し、静電気によるウェーハの損傷を防ぎ、製品の品質と安全性を確保します。

5. 溶射技術により、動作中のロボット アームの粒子汚染も軽減できます。半導体製造では、小さな粒子による汚染がウェーハの品質に影響を与える可能性があります。溶射技術を用いることで、ロボットアームの表面に平滑で緻密な皮膜を形成することができ、パーティクルの飛散を低減し、生産環境の清浄度を維持し、製品の歩留まりを向上させることができます。